原子力顯微鏡FM-Nainoview 6800AFM
一、功能特點(diǎn)
1. 光機(jī)電一體化設(shè)計(jì),外形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單; 2. 掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體,抗干擾能力強(qiáng); 3. 精密激光檢測(cè)及探針定位裝置,光斑調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單,操作方便; 4. 采用樣品趨近探針?lè)绞?,使針尖垂直于樣品掃描?/p> 5. 伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制,驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針,實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位; 6. 高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置,可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域; 7. 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇; 8. 采用伺服馬達(dá)控制CCD對(duì)焦和光學(xué)放大; 9. 模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì),便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù); 10. 集成多種掃描工作模式控制電路,配合軟件系統(tǒng)使用。
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二、友好的軟件
1. 可觀(guān)測(cè)樣品掃描時(shí)的表面形貌像、振幅像和相位像
2. 具備接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式
3. 多通道圖像同步采集顯示,實(shí)時(shí)查看剖面圖
4. 多種曲線(xiàn)力-間距(F-Z)、頻率-RMS(f-RMS)、RMS-間隙(RMS-Z)測(cè)量功能
5. 可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能,任意選擇感興趣的樣品區(qū)域
6. 激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能
7. 針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能
8. 可任意定義掃描圖像的色板功能
9. 支持樣品傾斜線(xiàn)平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能
10. 支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正
11. 支持樣品圖片離線(xiàn)分析與處理功能
三、技術(shù)規(guī)格
名 稱(chēng) | 參 數(shù) | 名 稱(chēng) | 參 數(shù) |
工作模式 | 接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力 | 掃描角度 | 任意 |
樣品尺寸 | Φ≤90mm,H≤20mm | 樣品移動(dòng)范圍 | 0~20mm |
*大掃描范圍 | 橫向50um,縱向5um | 光學(xué)放大倍數(shù) | 10X |
掃描分辨率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm | 光學(xué)分辨率 | 1um |
掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz | 圖像采樣點(diǎn) | 256×256,512×512 |
掃描控制 | XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A | 反饋方式 | DSP數(shù)字反饋 |
數(shù)據(jù)采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D 多路同步采樣 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
儀器重量體積 | 40KG,700′480′450mm | 計(jì)算機(jī)接口 | USB2.0 |
運(yùn)行環(huán)境 | 運(yùn)行于WindowsXP/7/8操作系統(tǒng)
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