詳細(xì)介紹
PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機(jī),其等離子腔體尺寸為 6"dia x 6.5"。特別適合對(duì)有機(jī)物和基片表面進(jìn)行清洗,同時(shí)可以向腔體通入不同的氣體(如氧氣和惰性氣體等),從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實(shí)驗(yàn)需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達(dá)20nm/min.對(duì)于在薄膜生長(zhǎng)前對(duì)基片進(jìn)行預(yù)處理,此款設(shè)備極為理想。
技術(shù)參數(shù)
輸入功率 | AC 110V , 50/60 Hz, < 200W |
輸出頻率 | 13.56 MHz |
功率 |
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等離子腔體 | 尺寸:6" dia x 6.5" l 石英腔體 |
真空泵和閥 |
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通入的氣體 | 腔體中可以通入多種氣體,如N2, Ar, Air ,也可以通入多種混合氣體,以滿足實(shí)驗(yàn)需要 ,不可以通入可燃性氣體進(jìn)入等離子腔體中 |
可選配件 |
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可選真空計(jì) |
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外型尺寸 | 11" H x 18" W x 9" D |
細(xì)節(jié)圖 |
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質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保 ( 不包括石英腔體和密封圈) |
質(zhì)量認(rèn)證 | CE Certified |