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可自動(dòng)掃描等離子表面處理儀--GSL1100XPJF-A

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  • 型號(hào) GSL1100XPJF-A
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 上海市

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更新時(shí)間:2022-12-17 12:28:19瀏覽次數(shù):368

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產(chǎn)品簡介

GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺(tái)結(jié)合在一起的產(chǎn)品,有自動(dòng)控制的樣品臺(tái),就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理,保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動(dòng)的工作臺(tái)(帶有真空吸盤和控制盒)。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面,可處理的樣品有單晶片,光學(xué)元件和塑料等,也可在常壓下進(jìn)行等離子

詳細(xì)介紹

GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺(tái)結(jié)合在一起的產(chǎn)品,有自動(dòng)控制的樣品臺(tái),就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理,保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動(dòng)的工作臺(tái)(帶有真空吸盤和控制盒)。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面,可處理的樣品有單晶片,光學(xué)元件和塑料等,也可在常壓下進(jìn)行等離子增強(qiáng)氣相沉積。

 

技術(shù)參數(shù)

  輸入電源

208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W

  RF發(fā)生器

  • 輸出頻率:20-23kHz , 25KV
  • 等離子槍頭:儀器中包括兩種等離子槍頭:圓形頭:10-12mm,矩形頭:15-18mm  

  輸入氣體氣壓,   工作氣體

  • 40 PSI min.(0.055 Mpa)
  • Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )

等離子體工作壓力

7- 10 PSI

  工作環(huán)境

溫度 < 42°C,濕度 ≤ 40℃RH

  樣品臺(tái)和控制柜

  • 配有可在X-Y軸移動(dòng)的樣品臺(tái),通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),采用SBC控制盒控制
  • 可手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)在Z軸方向上的移動(dòng)距離
  • 控制盒采用LCD顯示,可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序。
  • 大掃描范圍:8" x 9"
  • 一個(gè)直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺(tái)上,可吸住直徑為6"的樣品。
  • 配有一真空泵,可與真空吸盤相連接
  • 整個(gè)系統(tǒng)安裝在一移動(dòng)架上(600x600x 800Lmm
  • 可選:可選加熱樣品臺(tái)(高溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作。

  尺寸&重量

  • 處理樣品臺(tái)尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H
  • 等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
  • 控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H
  • 重量:55kg
  

  質(zhì)保&質(zhì)量認(rèn)證

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)

CE認(rèn)證

 

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