超高純度:能生產(chǎn)出電阻率高達 18MΩ?cm 以上,總有機碳(TOC)含量極低,顆粒計數(shù)極少的超純水,滿足光刻工藝對水質(zhì)的**要求,確保光刻膠的分辨率和精度。
穩(wěn)定運行:采用高品質(zhì)的膜組件、泵、閥門等關(guān)鍵部件,經(jīng)過嚴(yán)格的設(shè)計和測試,可長時間連續(xù)穩(wěn)定供應(yīng)高質(zhì)量超純水,保證光刻工藝的連續(xù)性。
自動化程度高:配備**的 PLC 控制系統(tǒng)、傳感器網(wǎng)絡(luò)和遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng),可實時監(jiān)測和控制水質(zhì)、壓力、流量、溫度等參數(shù),實現(xiàn)自動運行、調(diào)節(jié)、保護和故障報警,減少人工操作和維護成本。
靈活定制:可根據(jù)不同的光刻工藝需求、生產(chǎn)規(guī)模和水質(zhì)要求,進行模塊化設(shè)計和定制化配置,方便設(shè)備的安裝、調(diào)試和擴展。
節(jié)能環(huán)保:采用節(jié)能型泵和優(yōu)化的工藝流程,降低能耗;同時,一些設(shè)備采用的 EDI 技術(shù)減少了酸堿廢水的排放,