真空壓力測(cè)量和原理
隨著真空應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，對(duì)真空變送器量程的要求達(dá)到2000毫巴至10-12毫巴，測(cè)量范圍達(dá)16個(gè)數(shù)量級(jí)。
由于物理特性的原因，沒有一個(gè)單獨(dú)的真空計(jì)能夠在整個(gè)壓力范圍內(nèi)進(jìn)行定量測(cè)量。因此，萊寶真空提供一系列采用不同設(shè)計(jì)的具有各自測(cè)量范圍（測(cè)量原理應(yīng)用直接壓力測(cè)量和間接壓力測(cè)量）的真空計(jì)。
直接（）式壓力測(cè)量與被測(cè)量的氣體類型無關(guān)。利用機(jī)械方法，通過作用于薄膜表面的壓力進(jìn)行測(cè)量。
間接壓力測(cè)量通過測(cè)量氣體也壓力有關(guān)的性質(zhì)（例如熱導(dǎo)率，電離概率）進(jìn)行間接測(cè)量的，因此間接壓力測(cè)量的結(jié)果取決于具體的氣體類型。測(cè)量讀數(shù)是以空氣或氮?dú)鉃闇y(cè)量氣體時(shí)的讀數(shù)，對(duì)于其他氣體，可利用修正因數(shù)修正測(cè)量讀數(shù)。
萊寶真空變送器控制簡單，極易與系統(tǒng)集成。
萊寶真空計(jì)的優(yōu)勢(shì)：
可靠性高
操作簡單
測(cè)量結(jié)果重復(fù)性好
持續(xù)監(jiān)測(cè)若干測(cè)量地點(diǎn)
安裝簡單并且節(jié)省成本和空間
測(cè)量地點(diǎn)和加工站之間的傳輸距離變長（可達(dá)100米）
通過數(shù)字/模擬接口將數(shù)據(jù)傳輸至PLC/計(jì)算機(jī)
符合電磁兼容性（EMC）要求
符合國際標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)程（CE,UL,RoHS,WEEE等）
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PTR90N
PENNINGVAC系列真空變送器是全量程多用途復(fù)合真空變送器。
優(yōu)勢(shì)
MEMS-皮拉尼與冷陰極復(fù)合真空計(jì)
量程覆蓋大氣壓到高真空
污染程度低，維護(hù)間隔長
模塊化設(shè)計(jì)，維修簡單
測(cè)量原理
皮拉尼熱傳導(dǎo)/冷陰極電離規(guī)
量程范圍
1．10-8到1000mbar
PTR225N/PTR237N
操作簡單，易于集成
優(yōu)勢(shì)
污染程度低，維護(hù)間隔長
模塊化設(shè)計(jì)，維修簡單
測(cè)量原理
冷陰極電離規(guī)
量程范圍
1．10-8到5.10-3mbar
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