真空壓力測量和原理
隨著真空應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,對真空變送器量程的要求達(dá)到2000毫巴至10-12毫巴,測量范圍達(dá)16個(gè)數(shù)量級。
由于物理特性的原因,沒有一個(gè)單獨(dú)的真空計(jì)能夠在整個(gè)壓力范圍內(nèi)進(jìn)行定量測量。因此,萊寶真空提供一系列采用不同設(shè)計(jì)的具有各自測量范圍(測量原理應(yīng)用直接壓力測量和間接壓力測量)的真空計(jì)。
直接()式壓力測量與被測量的氣體類型無關(guān)。利用機(jī)械方法,通過作用于薄膜表面的壓力進(jìn)行測量。
間接壓力測量通過測量氣體也壓力有關(guān)的性質(zhì)(例如熱導(dǎo)率,電離概率)進(jìn)行間接測量的,因此間接壓力測量的結(jié)果取決于具體的氣體類型。測量讀數(shù)是以空氣或氮?dú)鉃闇y量氣體時(shí)的讀數(shù),對于其他氣體,可利用修正因數(shù)修正測量讀數(shù)。
萊寶真空變送器控制簡單,極易與系統(tǒng)集成。
萊寶真空計(jì)的優(yōu)勢:
可靠性高
操作簡單
測量結(jié)果重復(fù)性好
持續(xù)監(jiān)測若干測量地點(diǎn)
安裝簡單并且節(jié)省成本和空間
測量地點(diǎn)和加工站之間的傳輸距離變長(可達(dá)100米)
通過數(shù)字/模擬接口將數(shù)據(jù)傳輸至PLC/計(jì)算機(jī)
符合電磁兼容性(EMC)要求
符合國際標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)程(CE,UL,RoHS,WEEE等)
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TTR200N和PTR200N將多種測量原理復(fù)合到一個(gè)真空計(jì),非常適合進(jìn)出樣室應(yīng)用。
優(yōu)勢
同種測量真空和相對真空,非常適合進(jìn)樣室控制
相對真空(以實(shí)時(shí)大氣壓為零點(diǎn)),環(huán)境大氣壓變化影響。
相對真空測量精確,系統(tǒng)控制不受大氣壓變化影響
縮短進(jìn)樣時(shí)間,提高工藝效率
測量原理
多種測量原理復(fù)合
量程范圍
TTR 200: 5.10-5mbar到1500mbar
PTR200:1.10-8mbar到1500mbar
50mbar到1300mbar測量結(jié)果與其他種類無關(guān)
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