產(chǎn)品介紹:
現(xiàn)有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流。
通過優(yōu)化電子光學系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。
*1 Regulus8240/8230/8220
產(chǎn)品特點:
沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)采用污染小、高真空樣品倉
運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2
- *2 Regulus8240/8230/8220
產(chǎn)品規(guī)格:
項目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | ||
二次電子分辨率 | 0.7 nm (加速電壓15 kV) | 0.6 nm(加速電壓 15 kV) 0.7 nm(著陸電壓 1 kV)*3 | ||||
0.8 nm (著陸電壓1 kV)*3 | ||||||
著陸電壓 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | ||||
放大倍率 | 20~1,000,000倍*4 | 20~2,000,000倍*4 | ||||
樣 品 臺 | 樣品臺控制 | 3軸馬達臺(可選5軸馬達臺) | 5軸馬達驅(qū)動 | |||
移 動 范 圍 | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | |
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | ||
R | 360° | |||||
T | -5~70° | |||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | ||||
再現(xiàn)性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含 | ||
±0.5 µm |
*3 減速模式下觀察
- *4 以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率