產(chǎn)品介紹:
集優(yōu)異性能、操作簡便性、多樣化功能于一身
日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性,結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能,可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。
產(chǎn)品特點(diǎn):
①SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察
■樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品
通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率
具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
紅外CCD探測(cè)器,提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全性
■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
支持360度旋轉(zhuǎn)
②隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI
■各種自動(dòng)化功能
自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
提高了自動(dòng)聚焦精度
搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
■Multi Zigzag,可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
■Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
③可提供滿足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案
■可滿足多種觀察需求的探測(cè)器
搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察
高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器,切換成分/凹凸等多種圖像
■配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件
>■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測(cè)量軟件Image pro
*配件
礦物的觀察分析案例
顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認(rèn)到暗 色區(qū)域是對(duì)應(yīng)于錯(cuò)濃度較高的區(qū)域。
應(yīng)用圖例
金屬材料
陶瓷材料
電子零件
生物/醫(yī)藥品
產(chǎn)品規(guī)格
ITEM | SU3800 | SU3900 | |
二級(jí)電子分解能 | 3.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式) | ||
15.0nm(加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式) | |||
背散射電子分解能 | 4.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式) | ||
倍率 | ×5~×300,000(照片倍率*1) | ||
×7~×800,000(實(shí)際顯示倍率*2) | |||
加速電壓 | 0.3kV~30kV | ||
低真空度設(shè)定 | 6~650Pa | ||
圖像位移 | ±50µm(WD=10mm) | ||
樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
樣品臺(tái) | X | 0~100mm | 0~150mm |
Y | 0~50mm | 0~150mm | |
Z | 5~65mm | 5~85mm | |
R | 360°連續(xù) | ||
T | -20°~+90° | ||
可觀察范圍 | 130mm直徑(R并用) | 200mm直徑(R并用) | |
可觀察高度 | 80mm(WD=10mm) | 130mm(WD=10mm) | |
電機(jī)驅(qū)動(dòng) | 5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng) | ||
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發(fā)射 | |
物像鏡頭光圈 | 4孔可動(dòng)光圈 | ||
檢測(cè)系統(tǒng) | 二級(jí)電子檢測(cè)器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 | ||
EDX分析WD | WD=10mm(T.O.A=35°) | ||
圖像顯示 | 自動(dòng)光軸調(diào)整功能 | 自動(dòng)光束調(diào)整(AFS→ABA→AFC→ABCC) | |
自動(dòng)光軸調(diào)整(實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊) | |||
自動(dòng)調(diào)整光束亮度 | |||
自動(dòng)圖像調(diào)整功能 | 自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制(ABCC) | ||
自動(dòng)對(duì)焦控制(AFC) | |||
自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能(ASF) | |||
自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整(AFS) | |||
自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)(ABA) | |||
自動(dòng)啟動(dòng)(HV-ON→ABCC→AFC) | |||
操作輔助功能 | 光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入(點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量、角度測(cè)量、文本)、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能(SEM MAP)、光束標(biāo)記功能 | ||
配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測(cè)器(UVD)、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成 | ||
配件(外部裝置) | 能量散射X射線分析儀(EDS)、波長色散X射線分析儀(WDS)、各種外部功能臺(tái)(加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、牽引臺(tái)) |
* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的顯示尺寸。
* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的顯示尺寸。