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半導(dǎo)體晶圓微操作、檢驗(yàn)設(shè)備 機(jī)器人

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京卓立漢光儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/7/17 9:22:26
  • 訪問次數(shù)453
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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     北京卓立漢光儀器有限公司是一家集光學(xué)、精密機(jī)械、電子、計(jì)算機(jī)技術(shù)于一體的高科技企業(yè)。卓立漢光自1999年起,通過數(shù)年的不斷努力,成長(zhǎng)為光電儀器廠商。目前公司的電控位移臺(tái)、手動(dòng)位移臺(tái)、光學(xué)調(diào)整架等產(chǎn)品已經(jīng)形成產(chǎn)品系列化,規(guī)格多元化,國(guó)內(nèi)多家科研單位、激光加工設(shè)備廠商、光纖設(shè)備廠商在使用我們的產(chǎn)品。2000年推出我司*套量產(chǎn)型三光柵光譜儀后,不斷推出了多套熒光、拉曼、光電探測(cè)器光譜響應(yīng)、太陽(yáng)能電池檢測(cè)等光譜測(cè)量系統(tǒng),廣泛應(yīng)用在眾多高校和科研院所的研究與試驗(yàn),為國(guó)家科技創(chuàng)新貢獻(xiàn)了一份力量,產(chǎn)品憑借優(yōu)良的品質(zhì)遠(yuǎn)銷歐美、東南亞等海外市場(chǎng)。 2005年10月在同行業(yè)中*通過ISO9001質(zhì)量管理體系SGS認(rèn)證。2010年取得國(guó)家*認(rèn)定,2016年卓立漢光技術(shù)中心順利通過市級(jí)技術(shù)中心評(píng)審。

     卓立漢光主要生產(chǎn)經(jīng)營(yíng):熒光/拉曼光譜系統(tǒng)、各類光譜測(cè)量系統(tǒng)、太陽(yáng)能電池檢測(cè)儀器、光柵光譜儀、各類型光源及探測(cè)器、電控精密位移臺(tái)、手動(dòng)精密位移臺(tái)、光學(xué)調(diào)整架、光學(xué)平臺(tái)、光學(xué)元件等系列產(chǎn)品。

分光光度計(jì),光纖光譜儀
此系統(tǒng)是卓立漢光推出的針對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行微操作、檢驗(yàn)的通用開發(fā)平臺(tái)。系統(tǒng)中包括:半導(dǎo)體晶圓裝夾單元、半導(dǎo)體晶圓對(duì)位單元、機(jī)器視覺單元和微操作機(jī)械手單元,配套有完整的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺軟件??梢愿鶕?jù)客戶不同的需求,實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行裝夾、對(duì)位、轉(zhuǎn)印、清潔、檢驗(yàn)等功能。
半導(dǎo)體晶圓微操作、檢驗(yàn)設(shè)備 機(jī)器人 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品概述

 

說明:

此系統(tǒng)是卓立漢光推出的針對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行微操作、檢驗(yàn)的通用開發(fā)平臺(tái)。系統(tǒng)中包括:半導(dǎo)體晶圓裝夾單元、半導(dǎo)體晶圓對(duì)位單元、機(jī)器視覺單元和微操作機(jī)械手單元,配套有完整的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺軟件??梢愿鶕?jù)客戶不同的需求,實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行裝夾、對(duì)位、轉(zhuǎn)印、清潔、檢驗(yàn)等功能。

半導(dǎo)體晶圓微操作、檢驗(yàn)設(shè)備特點(diǎn):

  • 系統(tǒng)包含完整的裝夾和對(duì)位結(jié)構(gòu),可以根據(jù)客戶實(shí)際需求定制
  • 控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺系統(tǒng)留有二次開發(fā)接口
  • 兼容客戶不同的晶圓結(jié)構(gòu),不同的Mark點(diǎn)圖形、進(jìn)行不同的操作動(dòng)作
  • 可對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行多維度微步調(diào)整
  • 多工位配置,提高工作效率

系統(tǒng)參數(shù):(本系列產(chǎn)品為設(shè)計(jì)規(guī)格,技術(shù)指標(biāo)以最終發(fā)布內(nèi)容為準(zhǔn))
 

指標(biāo)

參數(shù)

機(jī)器視覺分辨率(μm)

0.1

顯微鏡倍率

0.5~4.5

攝像頭分辨率

2048×1536

幀率(fps)

15

攝像頭類型

單色

光源

單色同軸光源

Mark點(diǎn)識(shí)別重復(fù)性(μm)

0.1

Mark點(diǎn)識(shí)別對(duì)位精度(μm)

<0.5

大行程X軸滑臺(tái)行程(mm)

400

大行程Y軸滑臺(tái)行程(mm)

200

大行程重復(fù)定位精度(μm)

1

大行程運(yùn)動(dòng)分辨率(μm)

±1

精密對(duì)位X軸滑臺(tái)行程(mm)

10

精密對(duì)位Y軸滑臺(tái)行程(mm)

10

精密對(duì)位Z軸滑臺(tái)行程(mm)

20

精密對(duì)位線性維度單向重復(fù)定位精度(μm)

±1

精密對(duì)位線性運(yùn)動(dòng)分辨率(μm)

0.1

精密對(duì)位θZ軸滑臺(tái)行程(°)

5

晶圓工位(個(gè))

2

晶圓真空吸附通道(路)

4

 
 
關(guān)鍵詞:顯微鏡
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