對水冷發(fā)生器采說，為使傳熱表面的結垢zui少，冷卻水的水質十分重要。結垢會使傳熱效率降低，從而減少臭氧產量，增加維護費用。在技術上自來水是被優(yōu)先選擇的冷卻劑，不過，對大型工業(yè)用發(fā)生器所需要的耗水量來說，使用自來水經濟上毫無吸引力，也許只有發(fā)生系統(tǒng)用在水處理廠的情況除外。與自來水水質相反，一般處理后的污水作為冷卻水，效果不是很好，因為它容易導致結垢。如果高質量的水或其他流體用在密封的十次冷卻回路中，末級熱交換器又是專門設計得zui少結垢；且便于清洗，而且污水出水還可以作為末級散熱使用。為了水費和設備維護費之間的平衡，系統(tǒng)設計時多數采用冷卻塔水或熱交換器優(yōu)質飲用水(無懸浮固體、氯化物<5mg／L)。
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臭氧在環(huán)境中可自然分解為氧，這是臭氧作為消毒滅菌劑的*優(yōu)點。臭氧利用空氣中的氧氣產生的，消毒氧化過程中，多余的氧原子（O）在30分鐘后又結合成為分子氧（O2），不存在任何殘留物質，解決了消毒劑消毒時，殘留物的二次污染問題，同時省去了消毒結束后的再次清潔。
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