詳細介紹
布魯克的SEM PicoIndenter系列是深度感應(yīng)的納米力學(xué)測試系統(tǒng),專門設(shè)計用于與掃描電子顯微鏡(SEM、FIB/SEM)的上等成像能力聯(lián)用。有了這些系統(tǒng),可以進行定量納米力學(xué)測試,同時使用SEM進行成像。Hysitron PI 85L SEM PicoIndenter 是一款專用的原位納米力學(xué)測試儀器,專為 SEM 使用而設(shè)計,但也適用于各種平臺和環(huán)境。該儀器采用布魯克電容式傳感器與極快的 78 kHz 控制系統(tǒng)配合使用,在納米尺度下提供**的性能和穩(wěn)定性。緊湊的小尺寸設(shè)計使該系統(tǒng)非常適合腔體、拉曼和光學(xué)顯微鏡、同步輻射光束線等。
專為高性能和多功能性而設(shè)計
Hysitron PI 85L 的樣品臺設(shè)計能容納厚度達 10 mm 的樣品,同時提供三個方向 (XYZ) 3 mm 范圍的**樣品定位。此外,樣品和傳感器的機械耦合為納米力學(xué)測試提供了一個穩(wěn)定、剛性的平臺??傊?,這種設(shè)計可實現(xiàn)*大的傾斜度和*小工作距離,在測試期間實現(xiàn)*佳成像效果。
與 SEM 成像同步的原位力學(xué)數(shù)據(jù)
使用 Hysitron PI 85L 采集的原位力學(xué)數(shù)據(jù)與 SEM 成像同步,且并排顯示。在左側(cè)的示例中,負載位移數(shù)據(jù)中的不連續(xù)性與在包含銅互連和脆電介質(zhì)材料中觀察到的斷裂相關(guān)。同時進行機械測量和SEM成像可**了解材料變形行為。
**使用各種模式探索材料變形行為
Hysitron PI 85L 可采用多種不同模式,在各種不同樣品中測試基本力學(xué)性能、應(yīng)力應(yīng)變行為、剛度、斷裂韌性和變形機制。
除了標準的測試模式外,PI 85L 還可以升級,并可使用可選模式進一步擴展其功能。從加熱選項到電特性,PI 85L 可根據(jù)您的需求進行調(diào)整。