詳細(xì)摘要： 針對(duì)晶圓廠(chǎng)內(nèi)磁場(chǎng)改變時(shí)會(huì)使電子束產(chǎn)生偏折并造成影像解析度下降或影像扭曲。SC26主動(dòng)式消磁系統(tǒng)能針對(duì)外部磁場(chǎng)動(dòng)態(tài)變化提供穩(wěn)定的反向磁場(chǎng)以提升拍攝的影像品質(zhì)。SC...

詳細(xì)摘要： 電鏡屏蔽-主動(dòng)式消磁系統(tǒng)SC24能針對(duì)外部磁場(chǎng)動(dòng)態(tài)變化提供穩(wěn)定的反向磁場(chǎng)以提升電子顯微鏡的影像品質(zhì)。SC24主動(dòng)式消磁系統(tǒng)主要是由磁場(chǎng)控制器、一或兩個(gè)感測(cè)探頭及...

詳細(xì)摘要： 現(xiàn)今的高性能電子束儀器對(duì)變化的環(huán)境磁場(chǎng)非常敏感。當(dāng)周遭的磁場(chǎng)改變時(shí)會(huì)使電子顯微鏡的電子束產(chǎn)生偏折并造成影像解析度或測(cè)量精度下降。SC22主動(dòng)消磁系統(tǒng)可降低環(huán)境交...