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光學(xué)輪廓測(cè)量顯微鏡

一、技術(shù)參數(shù)

1. 觀察筒：正像觀察筒，45°鉸鏈?zhǔn)饺?，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比

雙目:三目=100：0 或 0:100

2.移動(dòng)行程范圍：  X:100mm;Y:100mm

分辨率 Z 軸不小于 0.02um，XY 軸不小于 0.10um,Optical 不低于 0.40um

3.工作臺(tái)尺寸： 355×240mm  (玻璃臺(tái)面尺寸：210×175mm)

4.可檢測(cè)表面粗糙度：不小于 40nm

5.物鏡： 5X、10X、20X、50X、100X

6.總放大倍數(shù) 50X-1000X

7.雙照明光源，帶可變視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心

反射照明： 高亮度5V，3W（LED）

投射照明：高亮度5V，3W（LED）

8. 適配鏡：直徑：59mm, 0.5 倍，內(nèi)調(diào)焦距：0～3mm 調(diào)焦后可鎖緊；

感光元件 1/2″，數(shù)據(jù)采集速度，可達(dá) 30 幀/秒，高分辨率：2048×1536

光學(xué)輪廓測(cè)量顯微鏡配置清單