詳細(xì)介紹
一、產(chǎn)品簡介
DF-760E超微量水分分析儀是一款結(jié)合庫倫電量法和可調(diào)諧激光二極管傳感器的分析儀,適合在超高純電子級氣體中檢測微量級雜質(zhì)水含量以實(shí)現(xiàn)質(zhì)量控制。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
水分測量采用高度穩(wěn)定的可調(diào)諧激光二極管傳感器
氧氣測量采用非消耗型傳感器,保修期長達(dá)5年
低維護(hù)
一臺(tái)儀器適用于多種背景氣體測量
三、典型應(yīng)用
集成電路板工廠的大宗氣體質(zhì)量控制
密閉性檢測
四、技術(shù)規(guī)格
氣體檢測類型: O2
技術(shù)庫倫電量法非消耗型電化學(xué)傳感器可調(diào)諧激光二極管
五、產(chǎn)品性能
工作量程:0-20ppm 0-20ppm
最小推薦輸出范圍:0-1ppb 0-2ppb
基本誤差(精度):+/- 3%讀數(shù)或+/- 0.1ppb(以者為準(zhǔn)) +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.2ppb(以者為準(zhǔn))
響應(yīng)時(shí)間(T90):小于15秒在1升/分下小于3分鐘
零點(diǎn)漂移/月:可忽略可忽略
量程漂移/月:可忽略可忽略
檢測限(LDL):75ppt 200ppt
失常恢復(fù)時(shí)間:恢復(fù)到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內(nèi)不超過5分鐘恢復(fù)到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內(nèi)不超過5分鐘
六、標(biāo)配功能
u 輸 出:水分和氧氣測量均采用隔離4-20mA dc并可選0-1、0-2、0-5或0-10V dc(可在標(biāo)定期間設(shè)置凍結(jié)模擬輸出)。
u 輸出范圍: 可比例調(diào)整至0-2ppb或0-20ppm之間的任意范圍。
u 聲光報(bào)警: 4個(gè)氧氣含量、4個(gè)水分含量、溫度、電解液狀態(tài)、水分傳感器診斷、低流量、零點(diǎn)驗(yàn)證或標(biāo)定進(jìn)行中、水分分析儀掉線、標(biāo)定期間氧氣模擬輸出凍結(jié)控制。
u 雙比例范圍:兩個(gè)自定義次要模擬輸出范圍,在超出主要范圍后可重新比例調(diào)整輸出。
u 繼電器觸點(diǎn):4個(gè)非閉鎖觸點(diǎn),可獨(dú)立分配給氧氣報(bào)警或氧氣標(biāo)定進(jìn)行中指示器,以及4個(gè)非閉鎖觸點(diǎn),可獨(dú)立分配給水分報(bào)警。SPDT觸點(diǎn)額定值為30V dc,5 A。
u 串行通信:出廠配置RS 232或RS 485雙向串行通信
u 氣體輸送系統(tǒng):采用氣動(dòng)無彈簧隔膜閥、零死體積對焊組件實(shí)現(xiàn)傳感器隔離和零 點(diǎn)驗(yàn)證;大容量凈化器濾除任何水分和氧氣,
u 確保高精度零點(diǎn)(不適用于氧氣樣本);伴熱溫控型送樣系統(tǒng);低接觸面積的集成壓力調(diào)節(jié)器;帶流量控制的旁通回路;?" VCR進(jìn)口接頭、?" 卡套旁通出口接頭、至真空源的?"卡套出口接頭、?"氣動(dòng)氣體卡套入口接頭。
u 氫氣安全系統(tǒng)吹掃:氫氣配套的可選安全系統(tǒng)包括:送樣聯(lián)鎖、殼體吹掃閥和可選外部真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護(hù)系統(tǒng)。
u 真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護(hù)系統(tǒng)為選配(注:氫氣安全系統(tǒng)將繼電器數(shù)目由4個(gè)限定為3個(gè))。
七、樣氣要求
溫度:10°C至80°C(50°F至176°F),建議將采樣線路加熱至60°C
露點(diǎn):環(huán)境溫度以下5°C (9°F)
條件:無油、非腐蝕性、非凝氣
塵埃:小于2μm微粒
排空:大氣壓。
樣氣流量:2至5 l/min(僅適用于氮?dú)猓渌尘皻怏w請聯(lián)系仕富梅
旁通流量:0.25至2.5l/min
樣氣壓力:30至150psig(3.08至11.3 BarA)
八、圖片展示