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詳細(xì)摘要： SFJ-261型氦質(zhì)譜檢漏儀將廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)、工業(yè)氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝、元器件在組裝前的漏率測(cè)試及要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件下的應(yīng)用...