MKS 925系列微皮拉尼真空計(jì)

● 壓力測(cè)量范圍在10ˉ5Torr 到大氣壓，大于普通的皮拉尼真空計(jì)2個(gè)測(cè)量等級(jí)
● 3個(gè)用于工藝控制的中繼點(diǎn)(選擇性)
● 超精致的設(shè)計(jì)
● 為工藝控制提供高的測(cè)量精度
● 模擬的輸出和數(shù)字通訊(RS232或RS485)提供了簡(jiǎn)便的操作
● 可以抵御大氣沖擊和振動(dòng)
● 可以方便地安裝于任何方向，沒(méi)有任何測(cè)量精度的損失
● 可以替代任何供應(yīng)商的真空計(jì)和設(shè)施的升級(jí)
● 符合歐洲CE，EMC標(biāo)志

MKS925真空計(jì)可以使用于半導(dǎo)體工業(yè)的分析和鍍膜工藝上的測(cè)量。
● 一般的真空壓力測(cè)量
● 前極管路和低真空的測(cè)量
● 氣體的充填測(cè)量和控制
● 質(zhì)譜儀器的控制
● 超高真空計(jì)的啟動(dòng)
● 工藝系統(tǒng)的控制
● 控制系統(tǒng)的壓力