概述
緊湊型有源離子真空計(jì)配備兩根氧化釔覆膜的銥燈絲，測量范圍極廣，從 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar（5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr），并且提供 1 V/decade 線性輸出。Edwards 的 AIGX 真空計(jì)具備行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的有源壓力測量概念的優(yōu)勢，同時(shí)集成了電子器件和可更換的管件。該真空計(jì)脫氣裝置，而且具備保護(hù)和延長燈絲使用壽命的功能。
得益于極低的帶電微粒輻射，AIGX 成為不能有背景噪聲的制程的佳選擇。
得益于極低的帶電微粒輻射，AIGX 成為不能有背景噪聲的制程的佳選擇。
功能和優(yōu)勢
- 的 8 decade 測量功能，可達(dá) 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。
- 有兩種款型可用，每一種又有三種真空聯(lián)軸器變型：
- “D”型具有 9 針“D”接頭盒標(biāo)準(zhǔn)接口；
- “S”型具有增強(qiáng)的功能，與 Edwards 的控制器兼容。
- 與主要競爭對手相比，帶電粒子制程污染減少了 30%。
- 自動(dòng)防止在大氣條件下啟動(dòng)燈絲以及在高壓下運(yùn)行或脫氣。
- 在整個(gè)測量范圍內(nèi)真空計(jì)靈敏度始終保持穩(wěn)定，從而可以在更高壓力下保持輸出精度。
- 在脫氣過程中可以連續(xù)進(jìn)行壓力測量輸出。
- 性設(shè)計(jì)消除了 X 射線限制的影響。
- 雙色 LED 提供真空計(jì)狀態(tài)的本地指示。
- 輸入電壓范圍寬。
- 電子器件極易拆卸以進(jìn)行高達(dá) 200 °C 的加熱。
- “S”型提供有無縫的自動(dòng)發(fā)射電流切換，延長了燈絲壽命。
- “S”型提供有診斷輸出，指示“發(fā)射關(guān)閉”、“燈絲燒壞”和“過壓跳閘”，以幫助進(jìn)行故障排除。
- “S”型提供有一個(gè)可以用按鈕調(diào)整的設(shè)定點(diǎn)。
數(shù)據(jù)
| 壓力范圍 | 6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar |
| | （5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr） |
| 電源供給 | +14.5 至 +30.0 V 直流 |
| 功耗 | 正常工作：7W（大）， |
| | 脫氣：14W（大） |
| 輸出信號(hào) | 線性，1 V / decade |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 1.33 x 10-8 mbar |
| | (>10-8 Torr) ? 100 ms |
| | 1.33 x 10-8 mbar |
| | (<10-8 Torr) ? 1-2 s |
| 大電壓 | 30 V（直流） |
| 大電流 | 100 mA（大） |
| 工作環(huán)境 | 干燥的非導(dǎo)電性大氣 |
| 溫度范圍 | |
| 工作溫度 | 0 至 +40 °C |
| 存儲(chǔ)溫度 | -30 至 +70 °C |
有關(guān)更多信息，請與 Edwards 聯(lián)系。
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