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EPX180N 半導(dǎo)體干式真空泵

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海赫哲真空設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號EPX180N
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時間2025/3/16 7:43:49
  • 訪問次數(shù)4
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上海赫哲真空設(shè)備有限公司是一家依靠德國*技術(shù)、*海歸工程師團(tuán)隊(duì)組成,以真空設(shè)備銷售和維修為主,集科研開發(fā)、工程項(xiàng)目、技術(shù)服務(wù)于一體的*。

 

  赫哲真空(Hertzian)擁有強(qiáng)大的售后團(tuán)隊(duì),在上海設(shè)有專業(yè)維修工廠,為客戶24小時提供所有銷售產(chǎn)品的技術(shù)支持及售后服務(wù),公司擁有各種油泵、旋片式真空泵、干泵、機(jī)械泵等真空泵的維修保養(yǎng)技術(shù)、各類工具和必要的部品,能應(yīng)客戶要求,對客戶工廠設(shè)置的真空機(jī)器、設(shè)備提供定期維護(hù)、保養(yǎng)服務(wù)。

 

  赫哲真空(Hertzian)代理銷售世界-意大利DVP,旗下產(chǎn)品有真空泵、真空油品、真空泵配件維修包等相關(guān)設(shè)備配件材料。

 

  赫哲真空(Hertzian)銷售的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于車輛、土木建筑工程、機(jī)械、包裝、環(huán)境保護(hù)、醫(yī)藥及醫(yī)療器械、石油、化工、食品、光學(xué)、電氣、電子、原子能、半導(dǎo)體、航空航天、低溫、*機(jī)械、紡織、造紙、農(nóng)業(yè)以及民用工業(yè)等工業(yè)部門和科學(xué)研究工作中。依托*的質(zhì)量、*的技術(shù)、人性化的管理、多元化的解決方案和服務(wù),以上海為中心輻射到全國各地,深受海內(nèi)外客戶的認(rèn)可。                          

除提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)及咨詢,并且堅(jiān)實(shí)的后勤工作團(tuán)隊(duì),為客戶提供質(zhì)量及技術(shù)的Z佳保證,讓客戶使用上無后顧之憂,并且為客戶解決使用上或應(yīng)用上問題

  赫哲真空(Hertzian)秉承誠信合作、與時俱進(jìn),為新老客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),歡迎各界朋友前來洽談合作,共創(chuàng)未來。

真空泵、真空油品、真空泵維修包等相關(guān)設(shè)備配件
新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,運(yùn)行成本更低。EPX180 使用了的保護(hù)機(jī)械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。模塊化 EPX180 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX180N 半導(dǎo)體干式真空泵 產(chǎn)品信息

概述

新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,運(yùn)行成本更低。EPX180 使用了的保護(hù)機(jī)械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX180 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

應(yīng)用

  • 負(fù)載鎖
  • 傳輸腔
  • PVD 濺射
  • 灰化/PR 剝離
  • 電介質(zhì)刻蝕
EPX 系列涵蓋的應(yīng)用,從水處理到中度工作負(fù)載的制程。
EPX“N”系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊,從而可將應(yīng)用范圍擴(kuò)大為中等制程,在這類制程中預(yù)期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。

功能和優(yōu)勢

  • 緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一,EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節(jié)省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠(yuǎn)程安裝。
  • 低運(yùn)行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可大化功率效率。
  • 的保護(hù)機(jī)械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力,并可以在進(jìn)氣口壓力下連續(xù)工作。
  • 清潔機(jī)械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。
  • – EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的 IPX ,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,大程度地延長了泵的使用壽命。
  • 可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò),以進(jìn)行診斷監(jiān)視和控制

數(shù)據(jù)

峰值速度 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
極限真空

<1 x 10-4 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
預(yù)熱時間(達(dá)到標(biāo)稱性能) 30 分鐘
入口法蘭 ISO63
法蘭 NW25
噪音 <59 dB(A)
水接頭 3/8 in 快速
冷卻水流速 2 lmin-1
冷卻水溫度 15 – 35°C
氮?dú)夤┙o接口 1/4 in (6.5 mm) 管
氮?dú)夤┙o壓力 3 x 105 – 7 x 105 Pa
低氮純度 99.95%
電源供給 200/208 V,50/60 Hz 三相
極限功率 1.4 kW
電機(jī)額定功率 3.0 kW
TIM C3
重量 43.5 kg
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