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iH160 半導(dǎo)體干式真空泵

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海赫哲真空設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號iH160
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時間2025/3/16 7:36:25
  • 訪問次數(shù)5
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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上海赫哲真空設(shè)備有限公司是一家依靠德國*技術(shù)、*海歸工程師團(tuán)隊組成,以真空設(shè)備銷售和維修為主,集科研開發(fā)、工程項目、技術(shù)服務(wù)于一體的*。

 

  赫哲真空(Hertzian)擁有強(qiáng)大的售后團(tuán)隊,在上海設(shè)有專業(yè)維修工廠,為客戶24小時提供所有銷售產(chǎn)品的技術(shù)支持及售后服務(wù),公司擁有各種油泵、旋片式真空泵、干泵、機(jī)械泵等真空泵的維修保養(yǎng)技術(shù)、各類工具和必要的部品,能應(yīng)客戶要求,對客戶工廠設(shè)置的真空機(jī)器、設(shè)備提供定期維護(hù)、保養(yǎng)服務(wù)。

 

  赫哲真空(Hertzian)代理銷售世界-意大利DVP,旗下產(chǎn)品有真空泵、真空油品、真空泵配件維修包等相關(guān)設(shè)備配件材料。

 

  赫哲真空(Hertzian)銷售的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于車輛、土木建筑工程、機(jī)械、包裝、環(huán)境保護(hù)、醫(yī)藥及醫(yī)療器械、石油、化工、食品、光學(xué)、電氣、電子、原子能、半導(dǎo)體、航空航天、低溫、*機(jī)械、紡織、造紙、農(nóng)業(yè)以及民用工業(yè)等工業(yè)部門和科學(xué)研究工作中。依托*的質(zhì)量、*的技術(shù)、人性化的管理、多元化的解決方案和服務(wù),以上海為中心輻射到全國各地,深受海內(nèi)外客戶的認(rèn)可。                          

除提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)及咨詢,并且堅實的后勤工作團(tuán)隊,為客戶提供質(zhì)量及技術(shù)的Z佳保證,讓客戶使用上無后顧之憂,并且為客戶解決使用上或應(yīng)用上問題

  赫哲真空(Hertzian)秉承誠信合作、與時俱進(jìn),為新老客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),歡迎各界朋友前來洽談合作,共創(chuàng)未來。

真空泵、真空油品、真空泵維修包等相關(guān)設(shè)備配件
Edwards 半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時間并提高生產(chǎn)率,同時大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實現(xiàn)了高的性和性能。 iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。
iH160 半導(dǎo)體干式真空泵 產(chǎn)品信息

概述

Edwards 半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時間并提高生產(chǎn)率,同時大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實現(xiàn)了高的性和性能。
  
iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。

應(yīng)用

  • 負(fù)載鎖
  • 輸送
  • 計量
  • 平版印刷
  • PVD 制程
  • PVD 預(yù)清潔
  • RTA
  • 剝離/灰化
  • 刻蝕
  • 植入源
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD

有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議,請與 Edwards 聯(lián)系。

功能和優(yōu)勢

  • 優(yōu)化了設(shè)施消耗。
  • 無需預(yù)防性維護(hù)。
  • 懸臂軸和的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
  • 在節(jié)省電機(jī)功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
  • 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
  • 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
  • 整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。

數(shù)據(jù)

峰值速度 165 m3h-1
97 cfm
2750 l min-1
極限真空 1 x 10-2 mbar
7.5 x 10-3 Torr
1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進(jìn)氣口連接 ISO63
連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 120 l h-1
2 l min-1
重量 244 kg
極限功率輸入 3.1 kW
電機(jī)額定功率 5.0 kW
油容量 0.85 l

  
數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
關(guān)鍵詞:真空泵
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