原理：溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。(注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。)
等離子體反應區(qū)富含很高的物質，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高的能量物質發(fā)生反應，使污染物質在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統(tǒng)的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，等離子體技術放電密度是電暈放電的1500倍，這就是傳統(tǒng)低溫等離子體技術治理工業(yè)廢氣99%以失敗而告終的原因。
技術特點：1.介質阻擋放電產生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
2.反應快，不受氣速限制。
3.采用防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設備腐蝕問題。
4.只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。
5.設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，不受氣溫的影響。
6.氣阻小，工藝成熟。
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