氣體溫控器Thermal Control system
是一個(gè)精確的氣體加熱/制冷溫度控制系統(tǒng),可以迅速將溫度從-80℃升溫到+200℃,設(shè)計(jì)用于加熱/制冷氣體(氮?dú)猓瑲鍤獾?和清潔干燥空氣(CDA)的各種工藝制程的工藝應(yīng)用。
氣體溫控器Thermal Control system
使用制冷級(jí)聯(lián)技術(shù),以實(shí)現(xiàn)低溫和超低溫冷卻氣體冷卻工藝,無(wú)需使用液氮和干冰的消耗性冷卻劑,降低了成本、風(fēng)險(xiǎn)。內(nèi)置非常*的溫度控制算法,典型溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間僅需幾十秒,提供精準(zhǔn)的氣流溫度控制(溫控精度±1℃)。ThermoStream GTC80是非??煽康闹瞥虤怏w加熱/制冷系統(tǒng),廣泛用于航空航天,汽車(chē),國(guó)防,半導(dǎo)體、科研和其他行業(yè)。
特征:
結(jié)構(gòu)緊湊,移動(dòng)式設(shè)計(jì)
溫度轉(zhuǎn)換效率非常迅速
制冷不需要液氮LN2,干冰
氣體溫控精度±1℃
出口氣體流量可自行設(shè)定
支持DUT模式溫度控制
集成式氣體干燥器,無(wú)需外置(壓縮空氣配置選項(xiàng),小于24SCFM的系統(tǒng))
單級(jí)壓縮機(jī),節(jié)能環(huán)保,性能可靠
風(fēng)冷或水冷機(jī)型可選
專有制冷劑,符合環(huán)境氣候協(xié)議
應(yīng)用:
工藝制程氣體恒溫供應(yīng)
電子產(chǎn)品老化測(cè)試
車(chē)輛IGBT,ECU模塊測(cè)試
半導(dǎo)體工藝恒溫控制
半導(dǎo)體器件表征測(cè)試
射頻暗室溫度控制/射頻、晶振測(cè)試
冷熱臺(tái)恒溫控制
流變學(xué)研究
材料的低溫表征實(shí)驗(yàn)
技術(shù)規(guī)格:
型號(hào) | GTC25 | GTC60 | GTC80 | GTC80H | |
溫度*1 | -25℃至+225℃ | -60℃至+225℃ | -80℃至+225℃ | -80℃至+225℃ | |
溫度控制精度 | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
溫度分辨率 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ | |
流量范圍*2 | 3 ~ 10SCFM(1.4L/s ~ 4.7L/s) | 4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s) | 4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s) | 5 ~24 SCFM(1.9 L/s ~ 11.3L/s) | |
供氣流量 | 8 至 15 SCFM (3.8 至 7.0 L/s) | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s) | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s) | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s) | |
性能*3 | ≤-25°C,制冷機(jī)輸出8SCFM | ≤-60°C,制冷機(jī)輸出12SCFM | ≤-80°C,制冷機(jī)輸出15SCFM | ≤-80°C,制冷機(jī)輸出20SCFM | |
控制模式 | 支持DUT控溫模式,類型:T、K、PT100等 | ||||
預(yù)冷時(shí)間 | ≤ 10min | ≤ 20min | ≤ 20min | ≤ 20min | |
操作界面 | 高清彩色觸摸屏,7 TFT | 高清彩色觸摸屏,7 TFT | 高清彩色觸摸屏,7 TFT | 高清彩色觸摸屏,7 TFT | |
系統(tǒng)語(yǔ)言 | 中文/英文 | 中文/英文 | 中文/英文 | 中文/英文 | |
進(jìn)/出氣接口 | 1/4"Rc Female 3/8"Rc Female | 1/2"Rc Female 1/2"Rc Female | 1/2"Rc Female 1/2"Rc Female | 1/2"Rc Female 3/4"Rc Female | |
通訊接口 | RS232,LAN | RS232,LAN | RS232,LAN | RS232,LAN | |
制冷劑 | 專有環(huán)保型制冷劑 | 專有環(huán)保型制冷劑 | 專有環(huán)保型制冷劑 | 專有環(huán)保型制冷劑 | |
噪音 | ≤ 52dBA | ≤ 65dBA | ≤ 65dBA | ≤ 69dBA | |
氣源要求 | |||||
氣體*5 | 各種干燥氣體(如:氮?dú)猓瑲鍤?,氧氣等)或潔凈的壓縮空氣 | ||||
氣體潔凈度 | 油分子:≤ 0.01ppm,過(guò)濾至0.1um的油霧/粉塵污染物 | ||||
進(jìn)氣溫度 | +5°C至+25°C | ||||
冷卻水溫度(選項(xiàng)) | +8℃至+15℃ | ||||
CDA時(shí)壓力露點(diǎn) | < 10℃ @0.62Mpa(90PSI) | ||||
CDA時(shí)進(jìn)氣壓力*4 | 8 至 15 SCFM (3.8 至 7.0 L/s) ; 標(biāo)準(zhǔn) 14 SCFM(6.5L/s) | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s);標(biāo)準(zhǔn)25SCFM(11.8L/S) | |||
工作環(huán)境要求 | |||||
溫度 | +10℃至+ 25℃ | ||||
相對(duì)濕度 | 25%至65% |
*1:低溫至-120℃,高溫至+300℃需求時(shí)咨詢銷(xiāo)售人員
*2:超過(guò)24SCFM(700L/min)氣體流量時(shí)咨詢銷(xiāo)售人員
*3:標(biāo)稱工作條件下的溫度性能
*4:易燃易爆以及腐蝕性性質(zhì)氣體請(qǐng)咨詢銷(xiāo)售人員
*5:其他氣體類型壓力咨詢銷(xiāo)售人員