設(shè)備優(yōu)點(diǎn)
高脫鹽率和凈化效果:反滲透膜具有很高的脫鹽能力,單級(jí)反滲透系統(tǒng)脫鹽率一般可穩(wěn)定在 97% 以上,雙級(jí)反滲透甚至可達(dá) 99% 以上,能有效去除水中的礦物質(zhì)、鹽分、有機(jī)物和微生物,確保水質(zhì)的高純度,滿足半導(dǎo)體芯片制造對(duì)超純水的嚴(yán)格要求 。
穩(wěn)定水質(zhì):半導(dǎo)體制造過程中,水質(zhì)的穩(wěn)定性至關(guān)重要。反滲透膜技術(shù)能夠減緩原水水質(zhì)波動(dòng)對(duì)產(chǎn)水的影響,保證生產(chǎn)中水質(zhì)的持續(xù)穩(wěn)定,這對(duì)于芯片的質(zhì)量控制和成品率的提高非常重要 。
去除微粒和污染物:半導(dǎo)體制造業(yè)對(duì)水中的顆粒物和雜質(zhì)有極低的容忍度。反滲透膜能夠有效攔截水中的微粒、膠體以及病毒、細(xì)菌等微生物,確保超純水無污染,減少芯片制造過程中的瑕疵和缺陷 。
經(jīng)濟(jì)性:雖然反滲透系統(tǒng)的初期投資較高,但其運(yùn)行成本相對(duì)較低,特別是在能源消耗上。與傳統(tǒng)的蒸餾等方法相比,反滲透膜技術(shù)更加節(jié)能,有助于降低長期運(yùn)營成本 。
自動(dòng)化與連續(xù)性:反滲透系統(tǒng)易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制,能夠連續(xù)穩(wěn)定地供應(yīng)超純水,適應(yīng)半導(dǎo)體制造過程的連續(xù)性和高效率需求 。
環(huán)境友好:反滲透技術(shù)減少了化學(xué)藥劑的使用,產(chǎn)生的廢水量相對(duì)較少,且易于回收處理,符合半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)環(huán)境可持續(xù)性的追求 。