SemiProbe半自動探針臺-半自動晶圓探針臺-光電探針臺產(chǎn)品描述:
SemiProbe半自動探針臺-半自動晶圓探針臺-光電探針臺 采用了 SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),提供了的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金和費(fèi)用。與傳統(tǒng)的探針臺相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎(chǔ)模塊-基座,卡盤支架,卡盤,顯微鏡裝置,顯微鏡移動,光學(xué)組件,操縱器等都是可以更換的,使得 PS4L 系列探針臺以其極大的靈活性和性價(jià)比滿足了多種應(yīng)用需求,為客戶提供了非常經(jīng)濟(jì)適用以及的解決方案。更重要的是,PS4L的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可以使探針臺在一個(gè)基本平臺的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級??筛鶕?jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場升級,由手動探針臺升級為半自動探針臺,半自動探針臺升級為全自動探針臺,或者6”升級為8”,8”升級為12”,增加密閉測試倉,增加高低溫等,以滿足用戶新的要求。這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸,自動化的程度或者測試要求發(fā)生改變時(shí),PS4L 也無需重新更換新的平臺,便可用最短的時(shí)效和最少的費(fèi)用完成測試。
PILOT控制軟件:
SemiProb的半自動探針系統(tǒng)使用 SemiProbe 的 PILOT 控制軟件包進(jìn)行操作,軟件和 PS4L 硬件一樣采用的是SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life(PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)。PILOT 軟件包是一款模塊化、最直觀且易操作的軟件。在不改變核心控制軟件的前提上,客戶可增添控制模塊來增加額外的功能和附件。其一般的功能比如2點(diǎn)校準(zhǔn),功能強(qiáng)大且易操作——甚至不經(jīng)常操作設(shè)備的用戶也非常容易上手。
產(chǎn)品特點(diǎn): - 可靈活改變測試尺寸
- 半自動測試,節(jié)省測試時(shí)間
- 可升級為全自動探針系統(tǒng)
- 模塊化設(shè)計(jì),可以更換關(guān)鍵部件
- 結(jié)構(gòu)簡潔,方便操作
應(yīng)用范圍:
- 光伏工業(yè)
- 材料科學(xué)
- 光電行業(yè)
- 失效分析
- 通信器件測試
- 微機(jī)電技術(shù)
SemiProbe半自動探針臺-半自動晶圓探針臺-光電探針臺 技術(shù)參數(shù)(型號:PS4L SA-4):
- 產(chǎn)品尺寸:900 mm x 650 mm x 750 mm
- 重量:80Kg
- 輸入電壓:110/220V 50/60Hz,20A
- 真空:23 Hg or -0.8 bar
- 卡盤X-Y軸軌道:NEMA 17步進(jìn)電機(jī),光學(xué)線性編碼器
- 行程:105*105mm
- 速度:50mm/s()
- 平面性:±6μm
- 分辨率:0.1μm
- 重復(fù)性:±0.5μm
- 精度:±3um
- 卡盤Z軸軌道:行程:15mm
- 分辨率:0.5μm
- 重復(fù)性:±1.5μm
- θ移動:行程:±4°(可定制)
- 分辨率:0.0008°
- 卡盤類型:真空或機(jī)械夾緊,圓形或方形,三軸,高頻,高壓/高電流,高低溫等
- 壓盤:鋁和不銹鋼頂部,可拆卸前楔
- 360度機(jī)械手放置
- 壓盤位移:可選擇固定和線性調(diào)節(jié)
- 線性調(diào)節(jié)范圍:40mm粗調(diào),200um微調(diào)
SemiProbe半自動探針臺-半自動晶圓探針臺-光電探針臺 可選配件:
包括探針卡,操縱器,操縱臂和基座, 探針,激光,光學(xué)部件,CCTV 系統(tǒng),隔振臺,暗箱。