SemiProbe手動(dòng)探針臺(tái)-直流探針臺(tái)-射頻探針臺(tái) PS4L 產(chǎn)品描述:
SemiProbe手動(dòng)探針臺(tái)-直流探針臺(tái)-射頻探針臺(tái) PS4L 是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)明顯操作靈活的手動(dòng)探針臺(tái)。它采用了 SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),提供了的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金費(fèi)用。PS4L 系列探針臺(tái)滿(mǎn)足了客戶(hù)對(duì)規(guī)格參數(shù)精準(zhǔn)的要求。與傳統(tǒng)的探針臺(tái)相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺(tái)中所有的基礎(chǔ)模塊-基座,平臺(tái),卡盤(pán),顯微鏡裝置,顯微鏡移動(dòng),光學(xué)組件,操縱器等都是可以更換的,這使得 PS4L系列探針臺(tái)以極低的價(jià)格便可滿(mǎn)足多種應(yīng)用需求,為客戶(hù)提供了的解決方案。
更重要的是,PS4L的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可以使探針臺(tái)在一個(gè)基本平臺(tái)的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級(jí)。可根據(jù)測(cè)試環(huán)境和測(cè)試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)升級(jí),由手動(dòng)探針臺(tái)升級(jí)為半自動(dòng)探針臺(tái),半自動(dòng)探針臺(tái)升級(jí)為全自動(dòng)探針臺(tái),或者6”升級(jí)為8”,8”升級(jí)為12”,增加密閉測(cè)試倉(cāng),增加高低溫等,以滿(mǎn)足用戶(hù)新的要求。這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸,自動(dòng)化的程度或者測(cè)試要求發(fā)生改變時(shí),PS4L也無(wú)需重新更換新的平臺(tái),便可用最短的時(shí)效和的費(fèi)用完成有效的測(cè)試。
產(chǎn)品特點(diǎn): - 可靈活改變測(cè)試尺寸
- 模塊化設(shè)計(jì),可更換關(guān)鍵部件
- 系統(tǒng)可在客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)
- 可升級(jí)為半自動(dòng)探針臺(tái),或者6”升級(jí)為8”,8”升級(jí)為12”
- 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔,方便操作
應(yīng)用范圍:
- 光伏工業(yè)
- 材料科學(xué)
- 光電行業(yè)
- 失效分析
- 通信器件測(cè)試
- 微機(jī)電技術(shù)
- 半導(dǎo)體
SemiProbe手動(dòng)探針臺(tái)-直流探針臺(tái)-射頻探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)(型號(hào):PS4L M-12):
- 產(chǎn)品尺寸:1200mm * 650mm * 900mm
- 重量:110Kg
- 輸入電壓:110/220V 50/60Hz,20A
- 真空:23 Hg or -0.8 bar
- 卡盤(pán)X-Y軸軌道:行程:>300mm粗調(diào),25mm微調(diào)(可定制)
- 平面性:±7.5μm
- 分辨率:5μm
- 支架類(lèi)型:快速對(duì)準(zhǔn)(標(biāo)配)、同軸/可編程(選配)
- 卡盤(pán)Z軸軌道:行程:>20mm
- θ移動(dòng):可轉(zhuǎn)角度:360°粗調(diào),>10°微調(diào)
- 卡盤(pán)類(lèi)型:真空或機(jī)械夾緊,圓形或方形,三軸,高頻,高壓/高電流,高低溫等
- 平面性:5μm
- 壓盤(pán):鋁和不銹鋼頂部,可拆卸前楔
- 360度機(jī)械手放置
- 機(jī)械手固定:磁性(標(biāo)準(zhǔn)),真空(可選配真空歧管工具包)
- 壓盤(pán)位移:可選擇固定和線(xiàn)性調(diào)節(jié)(線(xiàn)性調(diào)節(jié)范圍:40mm粗調(diào),200um微調(diào))
- 顯微鏡:立體變焦、變焦或復(fù)式顯微鏡
- 顯微鏡安裝/移動(dòng):可選吊桿、立柱或橋架安裝;可手動(dòng)或通過(guò)程控移動(dòng)
SemiProbe手動(dòng)探針臺(tái)-直流探針臺(tái)-射頻探針臺(tái)可選配件:
包括探針卡,操縱器,操縱臂和基座, 探針,激光,光學(xué)部件,CCTV 系統(tǒng),隔振臺(tái),暗箱。