產(chǎn)品描述:
主動(dòng)防振臺(tái)-減振臺(tái)-隔震臺(tái)AVI-200M是六個(gè)空間方向自由隔振(1Hz – 200Hz主動(dòng)隔振, >200Hz被動(dòng)隔振),通過增加選件可以將低頻擴(kuò)展至0.5hZ,單模塊承重200kg,配置多個(gè)模塊時(shí)承重為200*Nkg,為客戶精密測(cè)試加工提供良好的振動(dòng)環(huán)境,廣泛引用于原子力顯微鏡,超景深顯微鏡,電子顯微鏡,微納加工等等。
主動(dòng)防振臺(tái)-減振臺(tái)-隔震臺(tái)-AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)防振臺(tái),可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究?jī)x器提供業(yè)界的主動(dòng)隔振性能(從0.5 Hz開始)。AVI系列平臺(tái)通過消除影響測(cè)量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲,幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益,并且平臺(tái)采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計(jì),無需為大多數(shù)儀器(包括大多數(shù)SEM)安裝所需的升降設(shè)備,從而簡(jiǎn)化了安裝過程。
主動(dòng)防振臺(tái)Avi-200M適用于各類大型電子顯微鏡AEM,SEM,ATM,TEM,,輪廓儀,電子天平,超快激光系統(tǒng)時(shí)頻系統(tǒng),大型半導(dǎo)體設(shè)備,激光設(shè)備!
工作原理:
安裝有測(cè)量和制造設(shè)備的地板或多或少會(huì)有振動(dòng)。如果這些振動(dòng)對(duì)設(shè)備造成不利影響,的解決方案則是使用主動(dòng)防振臺(tái)(減振臺(tái)),以便營(yíng)造該設(shè)備的條件。
主動(dòng)式防振臺(tái)使用電氣控制,通過對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監(jiān)測(cè)振動(dòng),并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,并繼續(xù)產(chǎn)生的振動(dòng)隔離狀態(tài)。主動(dòng)防振臺(tái)擅長(zhǎng)于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
AVI系列主動(dòng)防振臺(tái)采用的隔振技術(shù),適用于任何研究情況下,可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng),包括水平和垂直方向。AVI系列主動(dòng)防振臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動(dòng),通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號(hào)來消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振??蔀閷?shí)驗(yàn)室中對(duì)震動(dòng)敏感的設(shè)備如電鏡,光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動(dòng),提供穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。
主動(dòng)防振臺(tái)AVI-200M產(chǎn)品特點(diǎn): - 六個(gè)空間方向自由防振(0.5Hz – 200Hz主動(dòng)防振, >200Hz被動(dòng)防振)
- 5-20ms響應(yīng)時(shí)間
- 低頻防振性能優(yōu)異,安裝和使用簡(jiǎn)單
- 系統(tǒng)主動(dòng)檢測(cè)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除
- 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì)
- 穩(wěn)定性高,能連續(xù)使用多年
- 無低頻共振、無空氣要求
主動(dòng)防振臺(tái)AVI-200M應(yīng)用范圍: - STM
- AFM
- 干涉儀
- 摩擦學(xué)
- 輪廓儀
- 高精度計(jì)量
主動(dòng)防振臺(tái)AVI-200M技術(shù)參數(shù): - 型號(hào):AVI-200M/LP
- 系統(tǒng)配置:獨(dú)立隔振裝置 & 控制裝置
- 主動(dòng)隔振范圍:大致為1.0 Hz – 200 Hz
- 被動(dòng)隔振范圍:大致為200 Hz以上
- 顯示屏信號(hào):多路復(fù)用信號(hào)用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動(dòng)水平。
- LEDs 指示輸出階段的過載情況。
- 單元尺寸(每個(gè)):130 x 636 x 112.5 Hmm,
- 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
- 隔振單元重量: 10kg
- 負(fù)載能力:400 kg (同等/低重心)
- 輸入電壓: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
- 功耗:通常9W
- 校正力:水平4N,垂直8N
- 系統(tǒng)噪音:0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
- 靜態(tài)柔度:垂直約3.5µm/N,水平約7µm/N
- 溫度范圍:5℃ – 40℃
- 相對(duì)濕度:10 – 90 % (5 – 30 ℃)?10 – 60 % (30 – 40 ℃)
- 室內(nèi)/室外使用:僅用于室內(nèi)
升級(jí)選項(xiàng):
AVI-200M 主動(dòng)防振臺(tái)可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強(qiáng)低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
主動(dòng)防振臺(tái)AVI-200M隔振效果:
AVI-200M 性能對(duì)比圖:AFM 的研究人員在兩種條件下進(jìn)行成像: 不含主動(dòng)式防振臺(tái)和包含AVI系列主動(dòng)防振臺(tái)。當(dāng)使用AVI系列主動(dòng)減振臺(tái)搭載AFM時(shí),所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測(cè)量清晰度得到大幅提升。
如果客戶需要的測(cè)試環(huán)境,我們的主動(dòng)防振臺(tái)AVI-200M還不能滿足要求時(shí),我們也強(qiáng)烈建議客戶了解Herzan 隔音箱AEK-2002 如圖: