Herz主動隔振臺-Herz主動式隔振臺-AVI主動隔振臺
Herz主動隔振臺-Herz主動式隔振臺-AVI主動隔振臺 是一款用于高負載精密科研設(shè)備的優(yōu)秀隔振系統(tǒng), 模塊化、易于安裝的設(shè)計,AVI- 400 WORKSTATION的多功能高性能隔振普遍適用于大量的儀器,是納米技術(shù)大型儀器隔振的解決方案。對升級和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設(shè)備來說是理想的選擇,主動式減震臺-主動式減振臺-主動減震光學(xué)平臺-herz avi 400series可自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸大小和配置,通過增加隔振模塊的數(shù)量可以增大系統(tǒng)的承重(承重可至9000磅)。
產(chǎn)品特點:
- 主控頻率 1Hz – 200Hz
- 被動防振頻率 >200Hz
- 5-20毫秒的響應(yīng)時間
- 安裝簡單,容易使用
- 能連續(xù)使用多年
- 通過LED顯示屏控制
產(chǎn)品應(yīng)用:
- SEM
- TEM
- UHV-SPM
- 光刻
- 光譜測量
- 高精度測量
- 其他高精密儀器
Herz主動隔振臺-Herz主動式隔振臺-AVI主動隔振臺 產(chǎn)品優(yōu)勢:
- 系統(tǒng)主動檢測輸入震動并動態(tài)消除
- 六個角度自由隔振
- 內(nèi)部反饋回路抑制所有機械共振
- 提供優(yōu)秀的低頻段隔振能力
- 無低頻共振并沒有空氣要求
技術(shù)參數(shù):
隔振范圍:主動:1-200Hz ; 被動: >200Hz
隔振范圍:超過10Hz 的傳輸< 0.017(-35 dB)
模塊尺寸: W7.5” x D 28” x H 4.5” (AVI-400)
模塊重量:40 KG / 88 Lbs
靜態(tài)柔度(每個模塊)
垂直方向:約1.7 μm / N
水平方向:約3.4 μm / N
系統(tǒng)噪聲:少于50nG/√Hz
耗電量:18 W(典型配置
輸入電壓:90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
控制器尺寸:48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”
性能監(jiān)控:通過在示波器上顯示的一個復(fù)用信號來表示是否帶有隔振效果的震動等級
可選型號:
型號 | 桌面尺寸(mm) | 載重能力(雙個模塊) |
AVI-400 workstation | 600×600 – 900×1200 | 600kg/ 1320Lbs |
AVI-400 Extra workstation | 600×600 – 900×1200 | 720kg/ 1584Lbs |
AVI-400 plus workstation | 600×600 – 900×1200 | 840kg/ 1848Lbs |
AVI-400 LT workstation | 600×600 – 900×1200 | 600kg/ 1320Lbs |