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L300i MODUL PHOENIX檢漏儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱安博元科技無錫有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地無錫市
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時(shí)間2024/9/12 7:49:01
  • 訪問次數(shù)152
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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安博元科技無錫有限公司:德國萊寶真空Leybold*;
主要業(yè)務(wù)為:
1、真空機(jī)組系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、組裝:
2、德國萊寶Leybold真空產(chǎn)品的應(yīng)用選型、優(yōu)化、銷售代理服務(wù);
3、德國萊寶Leybold真空產(chǎn)品的備件、真空泵濾芯等耗材的*;
4、真空泵的售后保養(yǎng)、維修服務(wù);
致力于為工業(yè)用戶提供安全無憂的真空解決方案,安博元科技全體員工誠信拼搏,并持之以恒地提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品及服務(wù)。

 

1、真空機(jī)組系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、組裝: 2、德國萊寶Leybold真空產(chǎn)品的應(yīng)用選型、優(yōu)化、銷售代理服務(wù); 3、德國萊寶Leybold真空產(chǎn)品的備件、真空泵濾芯等耗材的銷售服務(wù); 4、真空泵的售后保養(yǎng)、維修服務(wù);
氦檢質(zhì)譜漏儀的原理氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點(diǎn)位置并測(cè)定漏率(通過漏孔的氣體流量)。因此,氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺(tái)氦流量計(jì)。檢漏儀在工作過程中首先是對(duì)試驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行抽真空,來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進(jìn)入檢漏儀。檢漏儀利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測(cè)量進(jìn)入檢漏儀氣體氦分壓并將測(cè)量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。重要技術(shù)規(guī)范測(cè)量范圍和響應(yīng)時(shí)間是檢漏儀的兩個(gè)重要的參數(shù)。測(cè)量范圍用小和可檢漏率限定。小可檢漏率用靈敏......
L300i MODUL PHOENIX檢漏儀 產(chǎn)品信息

氦檢質(zhì)譜漏儀的原理

氦檢質(zhì)譜漏儀可查找漏點(diǎn)位置并測(cè)定漏率(通過漏孔的氣體流量)。因此,氦質(zhì)譜檢漏儀是一臺(tái)氦流量計(jì)。


檢漏儀在工作過程中首先是對(duì)試驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行抽真空,來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進(jìn)入檢漏儀。檢漏儀利用內(nèi)置氦質(zhì)譜儀測(cè)量進(jìn)入檢漏儀氣體氦分壓并將測(cè)量結(jié)果轉(zhuǎn)換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。


重要技術(shù)規(guī)范

測(cè)量范圍和響應(yīng)時(shí)間是檢漏儀的兩個(gè)重要的參數(shù)。

測(cè)量范圍用小和可檢漏率限定。

小可檢漏率用靈敏的測(cè)量范圍系統(tǒng)的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內(nèi)系統(tǒng)噪聲幅度和零點(diǎn)漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀的零點(diǎn)漂移量非常小,所以一般僅采用噪聲幅度就可以確定檢漏儀的小可檢漏率??蓹z漏率依賴于所采用的檢漏方法,利用逆流法和分流法(參見下面的說明)可以測(cè)量非常大的漏率。此外,檢漏儀內(nèi)部的多級(jí)高阻抗輸入開關(guān)放大器也能提高檢漏儀測(cè)量大漏的能力。在實(shí)際的檢漏操作過程中特別是查找漏點(diǎn)的時(shí)候,響應(yīng)時(shí)間十分重要。該時(shí)間指從用氦氣噴吹試驗(yàn)對(duì)象直到檢漏儀顯示測(cè)量值所用的時(shí)間。電子信號(hào)調(diào)節(jié)電路系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間是總響應(yīng)時(shí)間的重要組成部分。對(duì)于檢漏儀來說,電氣系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間遠(yuǎn)小于1秒。

檢漏設(shè)備對(duì)氦的有效抽速?zèng)Q定了氦氣通過漏孔進(jìn)入檢漏儀的時(shí)間(如果檢漏設(shè)備沒有輔助抽空的系統(tǒng),檢漏儀內(nèi)置的真空泵的大小會(huì)影響系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間)。檢漏系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間可根據(jù)下面的簡(jiǎn)單公式計(jì)算:

氦響應(yīng)時(shí)間


(達(dá)到實(shí)際漏率95%的時(shí)間)

其中 V = 試驗(yàn)對(duì)象容積

SHe = 檢漏系統(tǒng)對(duì)氦的有效抽速。


用標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)檢漏儀

檢漏工藝要求準(zhǔn)確地區(qū)分漏與不漏的試用對(duì)象,避免任何失誤。這就需要由標(biāo)準(zhǔn)漏孔(能產(chǎn)生已知氦漏率的人工漏孔)作為檢漏設(shè)備的基準(zhǔn)。為了獲得準(zhǔn)確的漏率數(shù)據(jù),必須使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)校準(zhǔn)檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn)。

萊寶真空可以提供采用不同原理設(shè)計(jì)的漏率范圍10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔。所有標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率都可以追溯到PTB( 聯(lián)邦物理技術(shù)協(xié)會(huì)) 和

DAKKS認(rèn)證認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)客戶的要求, 每個(gè)氦標(biāo)準(zhǔn)漏孔都可以提供由DAkkS認(rèn)證認(rèn)可委員會(huì)頒發(fā)的校準(zhǔn)證書。校準(zhǔn)工作由萊寶真空在PTB的DAKKS校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室完成。

更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶:安博元科技 info


PHOENIX L300i MODUL是模塊化的檢漏儀。它以PHOENIX L300i為基礎(chǔ),但沒有集成前級(jí)真空泵。客戶可以根據(jù)特定用途選擇并添加外部前級(jí)真空泵。適合大型真空室檢漏或快速循環(huán)檢大漏等檢漏應(yīng)用。


PHOENIX L300i MODUL保持PHOENIXL300i特性,并可以根據(jù)客戶需求配置前級(jí)泵。


兩個(gè)基本類型:

- 干式檢漏系統(tǒng)(配置干式前級(jí)泵)

- 油式檢漏系統(tǒng)(配置油封式前級(jí)泵)


PHOENIX L300i MODUL配置油封前級(jí)泵

根據(jù)檢漏應(yīng)用的要求配置抽速適當(dāng)?shù)那?/span>

級(jí)泵將檢漏儀的功能發(fā)揮到。

客戶得益

- 高效的檢漏儀

- 抽速按照特定用途進(jìn)行了優(yōu)化

- 響應(yīng)速度快

- 高靈敏度

- 可以快速定量地檢測(cè)出小漏


PHOENIX L300i MODUL配置干式前級(jí)泵

為客戶提供高效的干式檢漏系統(tǒng)。

客戶得益

- 大抽速,可用于測(cè)試半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

而不必采用輔助抽空系統(tǒng)

- 響應(yīng)速度快

- 恢復(fù)時(shí)間短(氦污染后)

- 干燥無油

- 高靈敏度

更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶:安博元科技 info

PHOENIX L300i MODUL配置油封前級(jí)泵

典型應(yīng)用

涉短循環(huán)和/或大容積、需要有移動(dòng)式

檢漏系統(tǒng)的所有用途,例如:

- 汽車工業(yè)

- 制冷行業(yè)

- 工業(yè)爐/機(jī)床/真空系統(tǒng)

- 包裝


PHOENIX L300i MODUL配置干式前級(jí)泵

典型應(yīng)用

需要工藝清潔的所有用途,例如:

- 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(芯片制造商)

- 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(OEM和分包商)

- 高純度氣體行業(yè)

- 科研

- 超高真空應(yīng)用



更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶:安博元科技 info

技術(shù)參數(shù)


PHOENIX L300i MODUL




配置單級(jí)旋片泵

配置雙級(jí)旋片泵

配置渦旋泵


小可檢氦漏率真空模式吸槍模式(實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù))

毫巴xx-1毫巴xx-1

5 x 10-11 < 7 x 10-9


5 x 10-12 < 7 x 10-9


8 x 10-12 < 7 x 10-9


小可檢氫漏率真空模式吸槍模式

毫巴xx-1毫巴xx-1

1 x 10-8 < 1 x 10-7


1 x 10-8 < 1 x 10-7


1 x 10-8 < 1 x 10-7


入口高壓強(qiáng)帶分流系統(tǒng)

毫巴(托)毫巴(托)

15 1000


15 1000


15 1000


抽真空期間的抽速,泵(50赫茲)








SOGEVAC SV 16 BI

立方米/小時(shí)

16




SOGEVAC SV 28 BI

立方米/小時(shí)

25




SOGEVAC SV 40 BI

立方米/小時(shí)

40




TRIVAC D 16 B

立方米/小時(shí)


16



TRIVAC D 25 B

立方米/小時(shí)


26



SCROLLVAC SC 15 D

立方米/小時(shí)



13


SCROLLVAC SC 30 DL

立方米/小時(shí)



26


入口抽速(氦)

/

> 3 1


> 3 1


> 3 1


漏率信號(hào)時(shí)間常數(shù)(達(dá)63%終值)

< 1


< 1


< 1


小可檢漏率

毫巴xx-1

1 x 10-12 to 1 · 10-1


1 x 10-12 to 1 · 10-1

1 x 10-12 to 1 · 10-1


測(cè)量單位(可選)壓強(qiáng)漏率吸槍模式


mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq

mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq

mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, ppm, g/a eq, oz/yr eq


檢漏儀啟動(dòng)時(shí)間

分鐘

< 2

< 2

< 2


質(zhì)譜儀


180°扇形磁場(chǎng)

180°扇形磁場(chǎng)

180°扇形磁場(chǎng)


離子源


2氧化釔/銥長(zhǎng)效陰極

2氧化釔/銥長(zhǎng)效陰極

2氧化釔/銥長(zhǎng)效陰極


可檢測(cè)質(zhì)量數(shù)


2, 3 4

2, 3 4

2, 3 4


入口


1 x DN 25 ISO-KF

1 x DN 25 ISO-KF

1 x DN 25 ISO-KF


尺寸(寬xx深)

mm

495 x 456 x 314

495 x 456 x 314

495 x 456 x 314


重量

千克()

30

30

30


語言

英語、德語、中文、日語、俄語、法語、意大利語、西班牙語、波蘭語和朝鮮語




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訂貨信息

PHOENIX L300i MODUL



產(chǎn)品號(hào)

產(chǎn)品號(hào)

PHOENIX L300i MODUL無前級(jí)真空泵 115-230V,50/60Hz


250002V01

250002V01

附件


推薦的前級(jí)真空泵 SOGEVAC SV 16 BI SOGEVAC SV 28 BI SOGEVAC SV 40 BI TRIVAC D 16 B TRIVAC D 25 B SCROLLVAC SC 15 D SCROLLVAC SC 30 DL


歐洲版230V, 50Hz 960 286960 277根據(jù)需求提供113 25113 35133 001 133 050

美國版 115V, 60Hz 根據(jù)需求提供 根據(jù)需求提供根據(jù)需求提供 根據(jù)需求提供 根據(jù)需求提供 133 101 133 051

其他附件參見PHOENIX L300iPHOENIX L300iDRYPHOENIX L300i MODUL附件部分。


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