zonglen半導(dǎo)體工藝冰水機(jī)Chiller
ZL802是一臺(tái)循環(huán)液進(jìn)行溫度控制并將其供給至客戶的冷熱源的裝置。具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置,采用控溫設(shè)計(jì)和技術(shù),具有廣泛的溫度范圍:-80℃至+300℃,在半導(dǎo)體制作過(guò)程激光加工機(jī)/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等廣泛用途中成果較多。
zonglen半導(dǎo)體工藝冰水機(jī)Chiller 特點(diǎn)
·溫度范圍:-80℃~+300℃
·溫度穩(wěn)定性±0 .1℃℃
·PLC觸摸屏操作,人機(jī)交互界面
·結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠性高
·定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能
·溫度波動(dòng)小
zonglen半導(dǎo)體工藝冰水機(jī)Chiller 應(yīng)用
·應(yīng)用于半導(dǎo)體、激光、焊接機(jī)、食品、包裝機(jī),如:半導(dǎo)體(蝕刻裝置、CMP、涂布機(jī))·顯影機(jī)、試驗(yàn)機(jī)、清洗機(jī))激光(激光加工機(jī)·激光焊接機(jī)、激光器、、光纖激光器用傳送電纜接頭、超聲波檢查裝置、二次電池制造工程)
·焊接機(jī)(弧焊、電阻焊接、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備)
可用選項(xiàng)
·省空間、省配線、省配管、省工時(shí)、雙變頻型更節(jié)能。
可對(duì)應(yīng)溫度穩(wěn)定性±0.1℃、溫度范圍-80℃~+300℃。
循環(huán)液:氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)。
冷卻方式:風(fēng)冷式(可選配水冷式)