VMU-型自動影像測量儀
產品名稱:VMU-型 自動影像測量儀
所屬分類:VMU
關鍵字:超精密 成就性能
產品簡介:VMU是天準公司精心研制的高精密,凝聚了機械、控制、軟件等各相關領域zui*的科研成果。它在VMP的基礎上進一步提升了測量精度,性能指標直擊品牌,是目前國內精度zui高、性能zui穩(wěn)定的。
型號 | VMU222 | VMU322 | VMU432 | VMU542 | |
行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
外部尺寸(mm) | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | 1440×1000×1620 | |
重量(kg) | 240 | 250 | 310 | 400 | |
承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | |
測量精度 | XY軸* | E2=(2.0+L/300)µm | E2=(2.5+L/300)µm | ||
Z軸** | E1=(5.0+L/200)µm | ||||
速度 | XY軸 | 200mm/S | |||
Z軸 | 100mm/S | ||||
光柵尺 | Renishaw光柵尺,0.4µm分辨率 | ||||
CCD | SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 | ||||
光源 | 輪廓光 | LED冷光源,256級亮度可調 | |||
表面光 | 6環(huán)8區(qū)LED冷光源,各段獨立操控,256級亮度可調 | ||||
同軸光 | LED冷光源,256級亮度可調 | ||||
光學系統(tǒng)*** | Navitar 6.5:1可變倍,放大倍率29~163或58~326 | ||||
軟件 | Vispec測量軟件(版) | ||||
運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統(tǒng) | ||||
保修期 | 1年 | ||||
工作環(huán)境 | 溫度20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80% | ||||
振動<0.002g,低于15Hz | |||||
電源 | 220V/50Hz/10A |