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單溫區(qū)滑軌式PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-SL-PEC

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱重慶開衡科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地重慶市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/7/23 12:08:45
  • 訪問次數(shù)124
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重慶開衡科技有限公司成立于2011年,是由一批有著高等學(xué)歷、優(yōu)良品質(zhì)、豐富經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)人士組建的一家客戶驅(qū)動(dòng)型企業(yè)。 公司自成立以來,不斷拓寬資源渠道,完善產(chǎn)品結(jié)構(gòu),積累專家智庫,提高本地化服務(wù)水平。致力打造科學(xué)研究、分析檢測(cè)相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和消耗品“一站式”采購平臺(tái),幫助客戶建設(shè)一個(gè)完備可靠的實(shí)驗(yàn)室。 一個(gè)渠道,無限解決方案。開衡科技提供所有實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備的支持和供應(yīng)管理,不限生產(chǎn)廠家,憑借我們專業(yè)技術(shù)和服務(wù)能力,幫助客戶用更少資源和更低成本提高生產(chǎn)力。 我們的產(chǎn)品包括:天平、箱類控溫系統(tǒng)、離心機(jī)、加壓電泳液相色譜、離子色譜、水質(zhì)檢測(cè)儀器、樣品低溫存儲(chǔ)設(shè)備、細(xì)胞培養(yǎng)設(shè)備、樣品離心及濃縮處理系統(tǒng)、微孔板分析儀器、實(shí)驗(yàn)室純水、恒溫產(chǎn)品、質(zhì)量控制檢測(cè)設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、移液器,以及實(shí)驗(yàn)室塑料制品和玻璃器皿、色譜柱、訂制實(shí)驗(yàn)室家具等等。 開衡科技以豐富的選擇,便捷的網(wǎng)絡(luò),迅速有效的售后服務(wù),為重慶地區(qū)各大專院校、科研院所、工業(yè)單位,涉及制藥、環(huán)監(jiān)、食品、農(nóng)業(yè)、醫(yī)學(xué)、化工、石化、材料、電子等行業(yè)的科技工作者提供服務(wù)和支持。多年實(shí)干,公司在用戶中已贏得廣泛贊譽(yù),并成為重慶地區(qū)科學(xué)儀器行業(yè)內(nèi)受尊敬的供應(yīng)商之一。
實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備
主要特點(diǎn)滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象
單溫區(qū)滑軌式PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-SL-PEC 產(chǎn)品信息


主要特點(diǎn)

滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。

1.與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長(zhǎng)溫度更低。
2.使用滑軌爐實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。
3.設(shè)備的技術(shù)使得整管輝光均勻等效,均勻生長(zhǎng)。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào):
BTF-1200C-SL-PECVD
實(shí)驗(yàn)機(jī)理:
PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單。
技術(shù)參數(shù):
開啟式真空管式滑軌爐
反應(yīng)腔體尺寸:Φ50,Φ60Φ80,Φ100
加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
加熱區(qū)長(zhǎng)度:440mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度:200mm±1
工作溫度:1100
Z高溫度:1200
控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能
控溫精度:±1
升溫速率:10/min
爐門結(jié)構(gòu):開啟式
工作電源:AC220V /50HZ
額定功率:3KW
真空泵和閥門
采用KF25系列波紋管和手動(dòng)擋板閥;
真空度可達(dá)10-3torr;
數(shù)顯真空測(cè)試儀可直觀的顯示數(shù)值。
質(zhì)量流量計(jì)控制氣路系統(tǒng)(可來圖訂制)
內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量;
氣體流量范圍可選,誤差為±1.5%;
一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥;
不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入。
射頻電源與匹配器
電源:?jiǎn)蜗?/span>50/60Hz 220v±10%
加熱(功率)電源:2.5KW,25A
控制柜電源空氣開關(guān):32A空氣開關(guān)
薄膜生長(zhǎng)室溫度:室溫~ 1200
射頻頻率:13.56MHz
射頻功率輸出范圍:5~500W
細(xì)節(jié)展示
外型尺寸:
爐體:550×380×600mm
爐體加滑軌1500x380x620mm
供氣及真空系統(tǒng):600×600×600mm
凈重:
150Kg
認(rèn)證和
CE認(rèn)證
號(hào):ZL.0 (產(chǎn)品 ,防偽必究)


關(guān)鍵詞:真空泵
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