一、用途
WMZ-9190明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時配有偏光裝置,及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象,使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中常用的檢測儀器之一.
目鏡 PL L5X/0.12 工作距離:26.1 mm PL L40X/0.60 工作距離:3.98 mm PL L100X/0.90 工作距離:2.2 mm (干式) 30?傾斜,瞳距調(diào)節(jié)范圍53~75mm. 粗微動同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:2μm. 五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) 雙層機械移動式載物臺, 外形尺寸:210mmX140mm,移動范圍:63mmX50mm 6V30W鹵素燈,亮度可調(diào) 內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、濾色片轉換裝置、推拉式檢偏器與起偏器 阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降 配置藍濾色片與磨砂玻璃片 防霉 系統(tǒng)組成 1.硅片檢測顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.計算機(選購) 1、硅片檢測顯微鏡 2、適配鏡 3、數(shù)碼相機(選購) 分劃目鏡10X(Φ22mm) 明場物鏡 20X、50X、80X 0.5X、1X、0.5X帶分劃尺 USB輸出:130/300/500/1000萬像素 CANON(EF) NIKON(F) 二維圖像測量分析軟件