TM3030 型掃描電子顯微鏡
一、用途
Hitachi TM3030型掃描電子顯微鏡(SEM)向來被廣泛用于生物、材料、化學(xué)、物理等各種不同領(lǐng)域的表面觀察和分析。但是由于SEM的局限性,使用者需要花費大量時間在樣品制備和電鏡的操作上。 為此,日立在原有的,已受到廣泛好評的TM-1000的技術(shù)上,精益求精,研發(fā)出結(jié)構(gòu)更緊湊、功能更齊備、操作更簡便的TM-3000臺式掃描電子顯微鏡。通過簡單的操作,即可達(dá)到觀察微觀世界的目的。 |
二、技術(shù)規(guī)格
項 目 | 內(nèi) 容 |
放大倍率 | 15X~30,000X(數(shù)字放大:2X、4X) |
觀察模式 | 標(biāo)準(zhǔn)模式、減輕荷電模式、大束流分析模式 |
圖像模式 | 形貌像、成份像、陰影像1、陰影像2、凹凸像 |
電子光學(xué)系統(tǒng) | |
電子槍 | 預(yù)對中發(fā)夾型鎢燈絲 |
加速電壓 | 5kV、15kV 、EDX |
透鏡系統(tǒng) | 3級電磁式透鏡會聚系統(tǒng) |
電位移 | ±50μm (WD=4.5mm、觀察條件:標(biāo)準(zhǔn)模式) |
能譜分析位置 | WD=10mm, TOA=35° |
樣品臺 | |
樣品臺控制 | 2軸手動樣品臺 |
樣品可移動范圍 | X:±17.5mm、Y:±17.5mm |
*大樣品尺寸 | 直徑70mm |
*大樣品厚度 | 50mm |
檢測器 | 高靈敏4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
真空系統(tǒng) | |
自動控制系統(tǒng) | 全自動氣動閥控制系統(tǒng) |
*高真空度 | 1.5×10-5Pa |
可變真空度 | 6~270Pa(22steps) |
渦輪分子泵 | 30L/s 1臺 |
隔膜泵 | 1m3/h 1臺 |
真空計 | 1臺 |
自動功能 | |
自動燈絲飽和 | 已配備 |
自動電子束設(shè)定 | 已配備 |
自動電子槍對中 | 已配備 |
自動合軸 | 已配備 |
自動聚焦、消像散 | 已配備 |
自動亮度、對比度 | 已配備 |
自動保護(hù)功能 | 帶有過電流保護(hù)功能、漏電遮斷器 |
計算機(jī)控制系統(tǒng) | |
操作系統(tǒng) | Microsoft Windows® 7 |
CPU | Intel® CoreTM2 Duo P8700(或與其兼容的PC) |
內(nèi)存容量 | 2GB以上 |
接口與端子 | USB2.0接口(2個)、網(wǎng)路接口(以太網(wǎng)) |
觀察 | 15.4英寸LCD;屏幕分辨率1280×800像素 |
控制 | 鼠標(biāo)、鍵盤 |
掃描速度 | |
TV掃描 | 640×480象素顯示,25幀/秒 |
快速掃描 | 全屏顯示,6.3幀/秒 |
慢速掃描 | 全屏顯示,1/4/20/40/80秒/幀 |
圖像數(shù)據(jù)存儲 | |
圖像存儲像素 | 640 × 480、1,280 × 960像素 |
圖像數(shù)據(jù)保存 | PC帶硬盤及其他記錄媒體 |
圖像存儲格式 | BMP、TIFF、JPEG |
圖像信息 | 微標(biāo)尺、微值、放大倍率、日期、時間、圖像編號、注釋、觀察條件、觀察模式、圖像模式、工作距離 |
輔助功能 | 圖像旋轉(zhuǎn)、簡單測量、三維動畫維護(hù)指南 |
使用環(huán)境 | |
室溫 | 15°C ~30°C |
相對濕度 | 40%~70% |
電源 | 單相AC100~240V(*低90V、*高250V) 50/60Hz、3P插座 |
地線 | D類接地,電阻小于100Ω |
體積與重量 | |
主機(jī) | 330(長)×606(寬)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage) 330(長)×630(寬)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage) |
隔膜泵 | 145(長)×256(寬)×217(高)mm、4.5Kg |