原子力顯微鏡(FM-Nanoview 6600AFM)
一、功能特點(diǎn)
1、光機(jī)電一體化設(shè)計,外形結(jié)構(gòu)簡單; 2、掃描探頭和樣品臺集成一體,抗干擾能力強(qiáng); 3、精密激光檢測及探針定位裝置,光斑調(diào)節(jié)簡單,操作方便; 4、采用樣品趨近探針方式,使針尖垂直于樣品掃描; 5、伺服馬達(dá)手動或自動脈沖控制,驅(qū)動樣品垂直接近探針,實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位; 6、高精度大范圍的樣品移動裝置,可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域; 7、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇; 8、自由變倍的CCD觀測系統(tǒng),實(shí)時觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域; 9、采用伺服馬達(dá)控制CCD對焦和光學(xué)放大; 10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計,便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù); 11、集成多種掃描工作模式控制電路,配合軟件系統(tǒng)使用。 |
二、友好的軟件界面及操作功能
1、多通道圖像同步采集顯示,實(shí)時查看剖面圖;
2、多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS(f-RMS)、RMS-間隙(RMS-Z)測量功能;
3、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能,任意選擇感興趣的樣品區(qū)域;
4、可任意選擇樣品起始掃描角度;
5、激光光斑檢測系統(tǒng)的實(shí)時調(diào)整功能;
6、針尖共振峰自動和手動搜索功能;
7、可任意定義掃描圖像的色板功能;
8、支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時校正功能;
9、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動校正;
三、技術(shù)規(guī)格
名 稱 | 參 數(shù) | 名 稱 | 參 數(shù) |
工作模式 | 輕敲模式、接觸模式 | 掃描角度 | 任意 |
樣品尺寸 | Φ≤80mm;H≤20mm | 樣品移動范圍 | 0~20mm |
*大掃描范圍 | 橫向50um,縱向5um | 馬達(dá)趨近脈沖寬度 | 10±2m |
掃描分辨率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm | CCD放大倍數(shù) | 光學(xué)放大0.6~5X 電子放大40X |
掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz | 圖像采樣點(diǎn) | 256×256,512×512 |
掃描控制 | XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A | 反饋方式 | DSP數(shù)字反饋 |
數(shù)據(jù)采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D 多路同步采樣 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
儀器重量體積 | 40KG,700′480′450mm | 計算機(jī)接口 | USB2.0 |
運(yùn)行環(huán)境 | 運(yùn)行于WindowsXP/7/8操作系統(tǒng) |