工業(yè)檢測顯微鏡BM-54XBD C
一、用途
BM-54XBD C 電腦工業(yè)檢測顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗物鏡、大視野目鏡、圖像清晰、襯度好。是針對半導體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)開發(fā)的,作為**工業(yè)顯微鏡使用??蛇M行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。 |
二、特點
1、采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)
2、拓展了物鏡的復用技術(shù),無限遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量
3、采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度
4、WF10X(Φ25mm)超大視野目鏡,長工作距離明暗場金相物鏡
5、可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器
三、技術(shù)規(guī)格
1、目鏡:
類 別 | 放 大 倍 數(shù) | 目視場直徑(mm) |
超寬視場 平場目鏡 | 10X | Φ25 |
目鏡 (帶0.1mm十字分劃板) | 10X | Φ20 |
2、物鏡:
類 別 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑N.A(mm) | 系 統(tǒng) | 工作距離(mm) |
平場無限遠 長工作距離 明暗場物鏡 | 5X | 0.10 | 干 | 29.4 |
10X | 0.25 | 16.0 | ||
20X | 0.40 | 10.6 | ||
40X | 0.60 | 5.40 |
3、顯微鏡的總放大倍率:
物 鏡 | 目 鏡 | 鏡筒系數(shù) | 總放大倍數(shù) |
5X | 10X | 1X | 50X |
10X | 100X | ||
20X | 200X | ||
40X | 400X |
4、觀察頭:30°鉸鏈式三目
5、轉(zhuǎn)換器:帶DIC 插孔明暗場五孔轉(zhuǎn)換器
6、瞳距:50-75 mm
7、雙層移動平臺:平臺尺寸:350×310 mm;移動范圍:250×250 mm
8、濾色片:插板式濾色片(綠、藍、中性)
9、調(diào)焦機構(gòu):粗微動同軸調(diào)焦,采用鹵輪鹵條傳動機構(gòu);微動格值0.002mm
10、偏光裝置:檢偏鏡可360°轉(zhuǎn)動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
11、檢測工具:0.01 mm測微尺
12、光源: 落射照明:帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V100W,AC85V-230V,亮度可調(diào)
13、計算機成像系統(tǒng):CCD攝像頭、CCD適配鏡、外置式圖像視頻采集卡(A/D)USB接口,(電腦自購)