BM-107JE 精密測(cè)量顯微鏡
一、用途
BM-107JE型測(cè)量顯微鏡是一種小型二維數(shù)顯測(cè)量的計(jì)量?jī)x器,儀器主要采用透、反射照明方式,通過(guò)觀察和數(shù)顯系統(tǒng)對(duì)精密件的幾何量(長(zhǎng)度、角度)進(jìn)行觀察、分析、測(cè)量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬、小型零件(如鐘表零件)及其他精密件幾何參數(shù)的測(cè)量。 儀器可以連接CCD進(jìn)行影像測(cè)量。儀器體積小、重量輕、可廣泛應(yīng)用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究部門(mén)。 |
二、技術(shù)規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)正像光學(xué)系統(tǒng) | ||||
觀察方式 | 目鏡筒 | 1、30°鉸鏈?zhǔn)饺款^(48mm-75mm) 2、0.3XCCD適配鏡 | |||
光學(xué)方式 | 透射、反射 | ||||
物鏡參數(shù) | 倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
視場(chǎng)直徑(mm) | 34 | 17 | 8.5 | 3.5 | |
工作距離(mm) | 14.47 | 16.01 | 10.5 | 5.1 | |
目鏡參數(shù) | WF10X/Φ22mm | ||||
WF10X/Φ20mm帶0.1mm十字分劃板 | |||||
測(cè)量范圍 | 工作臺(tái)測(cè)量范圍:50×50mm | ||||
圓工作臺(tái)角度測(cè)量范圍:0°~360° | |||||
分度值 | X,Y方向分度值:0.001mm | ||||
圓工作臺(tái)游標(biāo)分度值:5′ | |||||
測(cè)量精度 | 儀器示值誤差±(4+L/25)μm, L-被測(cè)件長(zhǎng)度mm | ||||
調(diào)焦裝置 | 粗微動(dòng)同軸調(diào)焦行程:150mm,微m動(dòng)格值:0.002mm | ||||
照明裝置 |
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儀器主要尺寸 | 工作臺(tái):200×200mm,測(cè)量工作臺(tái)直徑120mm , 玻璃工作臺(tái)直徑75mm | ||||
選購(gòu)件 |
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2、日本三豐Mitutoyo 數(shù)顯測(cè)微手輪 分辨率0.001mm 公英制轉(zhuǎn)換 | |||||
3、Z向輔助測(cè)量裝置 | |||||
4、二維測(cè)量軟件 |