產(chǎn)品概述:等距螺桿式真空泵又稱為干式螺桿真空泵,是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿于右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng),利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間,形成多個(gè)級(jí),氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)(柱形等螺距)進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)。兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿于螺桿、螺桿于泵體之間都有一定的間隙,泵工作時(shí)相互之間無(wú)摩擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪音低,且工作腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑油,因此螺桿真空泵適用于半導(dǎo)體,電子以及要求潔凈真空泵的場(chǎng)合,可以替代油封式機(jī)械泵,水封式機(jī)械泵成為新一代的主要真空獲得設(shè)備。
性能參數(shù):
