美國Aalborg氣體質(zhì)量流量計(jì)
美國Aalborg Instruments Controls, Inc成立于1972年,是**上**的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的生產(chǎn)廠家,其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、材料科學(xué)、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn):性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器
典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設(shè)計(jì)特點(diǎn):
?。瓌傂越饘俳Y(jié)構(gòu)
?。鞒谭秶鷱?開始到10sccm直到0到1000slpm
?。?大壓力500psig(34.5Bar)
?。孤┞?*10-7氦氣
-NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
?。蓛A斜的LCD讀表
?。?-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出
?。娐繁Wo(hù)
?。捎米鞅銛y式的設(shè)備
?。?到**比例顯示
-可配備流量計(jì)算機(jī)
產(chǎn)品特點(diǎn):性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器
典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設(shè)計(jì)特點(diǎn):
?。瓌傂越饘俳Y(jié)構(gòu)
?。鞒谭秶鷱?開始到10sccm直到0到1000slpm
?。?大壓力500psig(34.5Bar)
?。孤┞?*10-7氦氣
-NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
?。蓛A斜的LCD讀表
?。?-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出
?。娐繁Wo(hù)
?。捎米鞅銛y式的設(shè)備
?。?到**比例顯示
-可配備流量計(jì)算機(jī)
資料下載
視頻介紹