工藝流程簡介
環(huán)境空氣經(jīng)壓縮凈化，除去油、水、塵后，進(jìn)入由兩個裝填有碳分子篩的吸附塔組成的變壓吸附裝置。壓縮空氣由下至上流經(jīng)吸附 塔，其間氧分子在碳分子篩表面吸附，氮?dú)庥晌剿隙肆鞒?，進(jìn)入粗氮緩沖罐，經(jīng)過一段時(shí)間后，吸附塔中碳分子篩被吸附的氧飽和，需進(jìn)行再生。再生是通過停止吸附步驟，降低吸附塔壓力來實(shí)現(xiàn)的。兩個吸附塔交替進(jìn)行吸附和再生，從而確保氮?dú)獾倪B續(xù)輸出。
變壓吸附制氮裝置工藝流程圖
技術(shù)特點(diǎn)
1、原料空氣取自自然，只需提供壓縮空氣和電源即可制取氮?dú)?。設(shè)備能耗低，運(yùn)行成本費(fèi)用少。
2、氮?dú)饧兌日{(diào)整方便，氮?dú)饧兌戎皇艿獨(dú)馀艢饬康挠绊?，普通制氮純度?0%－99.999%之間任意調(diào)節(jié)；高純度制氮機(jī)可在99%－99.999%之間任意調(diào)節(jié)。
3、設(shè)備自動化程度高，產(chǎn)氣快，可無人值守。啟動、關(guān)機(jī)只需按一下按鈕，開機(jī)20-40分鐘內(nèi)即可產(chǎn)生氮?dú)狻?/span>
4、設(shè)備工藝流程簡單，設(shè)備結(jié)構(gòu)外形緊湊，占地面積小，設(shè)備裝置適應(yīng)性強(qiáng)。
5、暴風(fēng)雪法裝填分子篩，避免高壓氣流沖擊導(dǎo)致分子篩粉化現(xiàn)象，確保分子篩長時(shí)間使用。
6、數(shù)顯流量計(jì)帶壓力補(bǔ)償、高精度的工業(yè)過程監(jiān)控二次儀表，具有瞬時(shí)流量及累積計(jì)算的功能。
7、在線分析儀濃度檢測，高精度，免維護(hù)。
8、不合格氣動自動放空，無需人為，保證工作效率。
9、可設(shè)計(jì)不合格純度報(bào)警，
10、預(yù)留PLC的通訊接口（RS485），與買方上位機(jī)通訊。
技術(shù)指標(biāo)參數(shù)：
流量：3~2000nm3/hr
純度：≥95-99.999%
壓力：0.01-0.8Mpa(以內(nèi)可調(diào))
露點(diǎn)：-45℃
氧含量：≤5ppm
過濾精度：0.001ppm
型號 | 流量（m3/hr） | 純度(%) | 高純度（%） | 壓力(Mpa) | 動力來源 | 工藝 | 露點(diǎn)（℃） | 低露點(diǎn)（℃） | 產(chǎn)成品 |
XTFD-10 | 10 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | 天然空氣 | PSA 變壓吸附式 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> |
XTFD-20 | 20 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-30 | 30 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-50 | 50 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-100 | 100 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-200 | 200 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-300 | 300 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-500 | 500 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-1000 | 1000 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-1500 | 1500 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-2000 | 2000 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> |
行業(yè)應(yīng)用范圍
1、半導(dǎo)體封裝行業(yè)應(yīng)用
用氮?dú)夥庋b、燒結(jié)、退火、還原、儲存。宏博變壓吸附制氮機(jī)協(xié)助業(yè)類各大廠家
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