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SPMV-100H腔體式微波真空等離子清洗機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱東莞市晟鼎精密儀器有限公司
品牌
型號(hào)
所在地東莞市
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2024/5/22 14:30:35
訪問次數(shù)173

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愿景：致力于為用戶提供專業(yè)的表面處理與檢測整體解決方案價(jià)值觀：誠信感恩創(chuàng)新專業(yè) 擔(dān)當(dāng) 成長同心拼搏晟鼎精密致力于提供表面性能處理以及檢測整體解決方案，集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的國家企業(yè)。是接觸角國家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T 30693-2014）參與制定者，擁有行業(yè)內(nèi)等離子實(shí)驗(yàn)室，與華南理工大學(xué)創(chuàng)建等離子技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，并擁有10多位行業(yè)技術(shù)專家。團(tuán)隊(duì)成員以多年從事材料表面、電子電氣、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域研發(fā)的博士、碩士、學(xué)士為主，本科學(xué)歷以上占比50%。是華為、小米、OPPO、京東方、富士康、比亞迪、藍(lán)思、伯恩、兆馳、三安光電、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等企業(yè)及科研院校長期合作伙伴。

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干式清洗機(jī)

產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

SPMV-100H腔體式微波真空等離子清洗機(jī)，自由基分子的等離子體無偏壓，不會(huì)對產(chǎn)品有電性損壞，去膠速率高

SPMV-100H腔體式微波真空等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品信息

SPMV-100H腔體式微波真空等離子清洗機(jī)，自由基分子的等離子體無偏壓，不會(huì)對產(chǎn)品有電性損壞，去膠速率高。

工作原理

微波等離子清洗是用等離子體通過化學(xué)或物理作用對工件表面進(jìn)行分子水平處理，去除沾污，改善表面性能的工藝過程。對應(yīng)不同的污染物，應(yīng)采用不同的清洗工藝。當(dāng)腔內(nèi)壓力為動(dòng)態(tài)平衡時(shí)，利用微波源振蕩產(chǎn)生的高頻交變電磁場將氬氣、氧氣、氮?dú)?、氫氣等工藝氣體電離，生成等離子體，活性等離子體對被清洗物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)氧化還原反應(yīng)。
微波等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為四大組成部分：控制系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、金屬空心導(dǎo)管。

行業(yè)專用方案

半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用
芯片粘接前處理：去除材料表面污染物，增加表面潤濕性能，提升膠體流動(dòng)性，保證與其他材料的結(jié)合能?。
塑封前處理：去除材料表面污染物，使芯片表面與塑封材料結(jié)合牢固，減少分層與氣泡等不良的產(chǎn)?。
光刻膠去除：去除殘留的光刻膠及其他有機(jī)物，活化和粗化晶圓表面，提高晶圓表面潤濕性能。
金屬鍵合前處理：去除金屬焊盤上的有機(jī)污染物，提高焊接工藝的強(qiáng)度和可靠性。

設(shè)備視頻

產(chǎn)品優(yōu)勢

去膠效率高

自由基分子的等離子體無偏壓，不會(huì)對產(chǎn)品有電性損壞，去膠效率高。

處理效率高

產(chǎn)品可選擇放在托盤上、開槽或者封閉的Magazine，處理效率高。

均勻性處理

Magazine放在旋轉(zhuǎn)架上，通過合理的ECR設(shè)計(jì)，良好的氣體流量調(diào)節(jié)，可以達(dá)到比較高的均勻性。

集成式控制系統(tǒng)

集成的控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，控制軟件，使操作更方便。

安全性?

?壓源和發(fā)?器互相隔離，安全性?。

采?磁約束的?式

采?磁約束的?式，微波結(jié)和磁路可以兼容。

應(yīng)用案例

微波等離子在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用

半導(dǎo)體微波等離子處理機(jī)的優(yōu)勢及效果

產(chǎn)品推薦

SPV-24M微波在線片式真空等離子清洗機(jī)

專門針對半導(dǎo)體行業(yè)的微波在線片式真空等離子清洗機(jī)，針對半導(dǎo)體芯?粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、?屬鍵合前處理。等離子體不帶電，不對精密電路造成損害，采用磁約束方式，可兼容微波結(jié)和磁路。

SPV-12Z在線片式真空等離子清洗機(jī)

半導(dǎo)體行業(yè)專用RF在線片式真空清洗機(jī)，PLASMA處理在線片式等離子處理系統(tǒng)

SPV-100真空等離子清洗機(jī)

超低處理溫度45℃，不造成熱影響，確保穩(wěn)定的處理效果

設(shè)備參數(shù)

設(shè)備尺寸	150012802000mm（長寬高）
微波電源	功率3KW 頻率2.45GMHZ
容積	100L 450450450mm（長寬高）
清洗產(chǎn)品范圍	引線框架：260mm65mm（長寬）
料盒尺寸范圍	290mm75mm160mm（長寬高）
真空泵	油泵或干泵
氣路配置	標(biāo)配氧氣、氬氣兩路工藝氣體（可定制CF4氣體）
系統(tǒng)控制	PLC控制系統(tǒng)