該設備實在簡易型近空間升華爐的基礎上改進而來,溫區(qū)更長,管徑更大,對開式結構溫場對稱性更好,散熱更快。源坩堝和襯底總成分別放置在兩個石英托架內,放置在爐膛內部的石英管軌道上。
1. 爐膛開門結構分為左右兩個獨立單元,上下兩排燈管分別獨立控溫,加熱結束后爐膛均可通過按鈕控制或自動分開成兩半,管子暴露在室溫環(huán)境下,底部兩個風扇強制風冷對其散熱。
2. 主爐體下方分為兩個區(qū)域,分別為電器控制部分和真空部分。電器控制部分內有溫控電路和機械動作控制器等。真空部分包含一臺直聯旋片式機械真空泵、數顯真空計和正壓保護電路。
3. 石英管固定通過兩端法蘭上的支撐固定架與爐體螺栓固定連接,保證管子和法蘭位置始終不變。
爐膛模式: | 前后移動開啟式爐膛 |
顯示模式: | 7英寸觸摸屏 |
加熱元件: | 短紅外波燈管,上下水平面獨立加熱 |
工作溫度: | ≤800℃ |
升溫速率: | 10℃/s |
樣品移動: | 無 |
溫區(qū)長度: | 300mm(恒溫區(qū)100*100mm) |
溫度均勻性: | ≤±3℃ |
爐管規(guī)格: | Φ150*700mm |
控溫精度: | ±1℃ |
密封方式: | 快速法蘭密封 |
儀表補償: | 室溫自動補償 |
溫度曲線: | 10段"時間—溫度曲線"任意可設,預存100條工藝曲線 |
外殼溫度: | ≤50℃(室溫≤25℃) |
超溫報警: | 有 |
過流保護: | 有 |
斷偶提示: | 有 |
測溫元件: | K型鎧裝熱電偶 |
爐膛材料: | 氧化鋁纖維 |
外形尺寸: | 1100*800*1300MM |
整機功率: | 20kw |
電源參數: | 220V 50Hz |
真空與氣氛: | |
抽真空能力: | 大氣到≤5Pa小于5min |
氣壓范圍: | 10-3Pa~105Pa,機械泵極限≤5Pa |
泄漏率: | ≤5-4(Pa*m3/s) |
真空計范圍: | 大氣到10-4Pa,分辨率0.01Pa |
氣路系統: | |
1路進氣口,內有管道布氣。: | |
超壓保護(≥1atm),根據設定壓力值自動排氣: | |
其它功能: | |
溫度數據存儲: | 可存儲大于3個月的數據 |
數據導出: | U盤導出excel或csv格式 |
工藝曲線: | 觸摸屏可顯示設定曲線預覽 |