技術(shù)參數(shù)
行程: 25mm
濾波器: 高斯(Gaussian)濾波器(ISO11562:1996)Rc濾波器
截止波長: 0.25,0.8,2.5
測量重復性: 4%
技術(shù)參數(shù)
相對示值誤差: ±7%
測量長度: λc ╳3、4、5、6、7
測量范圍: 640μm
分辨率 : 0.001μm
測量速度: 0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s
返回速度: 1mm/s(自動)
測量方式:傳感器移動式
測量功能
Ra、Rz、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rk 、Wp、Wv