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HMDS真空烤箱

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱寧波艾德生儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)EHMDS
  • 所  在  地寧波市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/12/20 12:09:55
  • 訪問(wèn)次數(shù)151
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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寧波艾德生儀器有限公司(Edeson Instrument Co.,Ltd.)是一家致力于專業(yè)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、制造各類模擬高低溫、濕度、光照、淋雨、沙塵、鹽霧及鋰電池干燥間等自然環(huán)境試驗(yàn)儀器設(shè)備及非標(biāo)檢測(cè)設(shè)備的*型企業(yè)。 公司由一批外資企業(yè)技術(shù)骨干創(chuàng)立,擁有一支從事產(chǎn)品設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造及售后服務(wù)的專業(yè)人才隊(duì)伍,具有完善的工藝、工裝、檢測(cè)和質(zhì)量管理制度,公司先后采購(gòu)了的數(shù)控加工設(shè)備,其中有大型數(shù)控轉(zhuǎn)塔沖床、數(shù)控折彎?rùn)C(jī)、光纖激光切割機(jī)、數(shù)控剪板機(jī)和高精度加工車床,銑床等加工設(shè)備。 所有產(chǎn)品的生產(chǎn)均按ISO9001:2008國(guó)際質(zhì)量體系實(shí)施受控管理?! 」緢?jiān)持與巨人同行,與世界同步的發(fā)展戰(zhàn)略,與美國(guó)杜邦(DuPont)、法國(guó)施耐德電氣(Schneider Electric)、法國(guó)泰康(Tecumseh)、美國(guó)谷輪(Copuland) 、丹麥丹佛斯(Danfoss )、寶鋼(Baosteel)等國(guó)內(nèi)外優(yōu)秀企業(yè)建立長(zhǎng)期戰(zhàn)略合作關(guān)系。 EDESON已成功為眾多領(lǐng)域廠商、科研機(jī)構(gòu)實(shí)驗(yàn)室優(yōu)選品牌!所有產(chǎn)品均已在航空航天、電力電子、醫(yī)藥化工、儀器儀表、汽車等企事業(yè)單位及科研機(jī)構(gòu)廣泛采用。 如:中科院、中國(guó)、中電集團(tuán)、中國(guó)兵器、北京大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、華中科技大學(xué)、寧波諾丁漢大學(xué)、中國(guó)中醫(yī)、中石油蘭州自動(dòng)化研究所、中國(guó)鐵道科學(xué)研究院、吉林電力科學(xué)研究院、遼寧(丹東)儀器儀表產(chǎn)業(yè)基地工業(yè)技術(shù)研究院、海天集團(tuán)、中鼎集團(tuán)、瑞聲科技、科大智能、共達(dá)電訊、捷普電子(無(wú)錫)、萬(wàn)科思自控(中國(guó))、步步高電子工業(yè)、回天新材、東風(fēng)汽車、均勝集團(tuán)、浙江長(zhǎng)華、錢江摩托、科倫制藥、華潤(rùn)三九、爾康制藥、吉林敖東、及SGS、TUV、UL-STR、Intertek等科研院校、各類企業(yè)及檢測(cè)機(jī)構(gòu)的。在此,我們衷心感謝廣大新老客戶多年來(lái)對(duì)EDESON的支持與信賴! 遠(yuǎn)見(jiàn)卓識(shí),把握未來(lái)!EDESON將始終堅(jiān)持“品質(zhì)成就品牌”的產(chǎn)品理念,致力于為客戶提供創(chuàng)新性的檢測(cè)儀器解決方案!一如既往地為廣大新老客戶提供可靠的產(chǎn)品與高效的服務(wù),樹(shù)立檢測(cè)儀器。 本公司產(chǎn)品符合ISO、GB、GJB、ASTM、DIN、JIS、CNC、UL、MIL、IEC等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)及大眾TL,通用GM汽車行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。 EDESON;堅(jiān)信,通過(guò)我們的合作與努力必將達(dá)到我們共同的目標(biāo)-品質(zhì)成就品牌!
烘箱
EHMDSHMDS真空烤箱的詳細(xì)資料:一、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝顯得更為重要
HMDS真空烤箱 產(chǎn)品信息
EHMDSHMDS真空烤箱的詳細(xì)資料:

一、HMDS 預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:

    在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

二、產(chǎn)品特點(diǎn):

1、設(shè)備外殼采用SUS304不銹鋼材質(zhì)制作,內(nèi)膽為不銹鋼SUS316L材料制成;
   采用C型不銹鋼加熱管,均勻分布在內(nèi)膽外壁,內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置;
   箱門采用鋼化、雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品生產(chǎn)情況。

2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)保持高真空度。

3、采用PID控制,系統(tǒng)具有自動(dòng)控溫,定時(shí),超溫報(bào)警等,采用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡(jiǎn)單易用,性能穩(wěn)定。

4、智能觸摸屏控制系統(tǒng)采用PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時(shí)間。

5、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),使真空箱密封性能,確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。

6、整個(gè)內(nèi)部系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)SUS316L不銹鋼材料制作,無(wú)發(fā)塵材料,適用百級(jí)光刻間凈化環(huán)境。

三、產(chǎn)品型號(hào)及參數(shù):

設(shè)備型號(hào):EHMDS-110

控溫范圍:RT+10~250℃

溫度分辨率:0.1℃

控溫精度:±0.5℃

隔板數(shù)量:2塊(標(biāo)配)

真空度:<133Pa

真空泵:DM4(內(nèi)置連接)

設(shè)備電源:AC220/50HZ

額定功率:3.5KW

內(nèi)膽尺寸mm:450x450x550 (W*D*H)

外形尺寸mm:650x640x1010 (W*D*H)

四、HMDS系列預(yù)處理系統(tǒng)的原理:

    HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

五、HMDS系列預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程:

    首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空,待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后,開(kāi)始充入氮?dú)?,充到某低真空度后,再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程,到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后,開(kāi)始保持一段時(shí)間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空,充入HMDS氣體,在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后,停止充入HMDS藥液,進(jìn)入保持階段,使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后,再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)猓瓿烧麄€(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖:首先加熱到100-200,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應(yīng),在硅片表面生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。

六、廢氣排放:

    多余的HMDS蒸汽(廢氣)將由真空泵抽出,排放到廢氣收集管道,在無(wú)廢氣收集管道時(shí)需做專門處理。

選配件:

1、增加HMDS液體瓶

2、壓力記錄儀(帶曲線)

3、溫度記錄儀(帶曲線)


關(guān)鍵詞:真空泵 溫度記錄儀
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