OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL 是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動(dòng)式雙溫區(qū)管式爐, 4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和無(wú)油機(jī)械泵機(jī)組，這款 PECVD系統(tǒng)可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯。
技術(shù)參數(shù)
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| 產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn) | - 與傳統(tǒng)的CVD相比，只需較低的制備溫度
- .滑軌式可快速加熱和快速冷卻
- 兩個(gè)加熱區(qū)，溫度梯度可達(dá) 200ºC
- 工作溫度1100°C
- 提供一個(gè)寬范圍的材料制備 ，如碳和 ZnO 納米管或納米線以及單層石墨烯。
- 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
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| 等離子發(fā)射源 | - 輸出功率: 5 -500W ± 1% .
- 射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% .
- 反射功率: 200W
- 匹配: 自動(dòng)
- 射頻接口: 50 Ω, N-type
- 噪音: <50 dB.
- 冷卻: 風(fēng)冷.
- 電源: AC 208-240V, 50/60Hz
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| 無(wú)油真空泵機(jī)組 | - Pfeiffer（德國(guó)）高速( 226L/min) 無(wú)油干泵, 極限真空10E-3 Torr L
- KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連.
- 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
- 數(shù)字真空計(jì) ( 美國(guó)) 安裝在左法蘭上.
- 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
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| 質(zhì)量流量計(jì) |
四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度0.02% ) ：數(shù)字顯示，自動(dòng)控制. - MFC 1范圍: 0~100 sccm
- MFC 2和3: 0~200 sccm
- MFC 4范圍: 0~500 sccm
- 一個(gè)混氣罐，底部裝有泄廢液口.
- 4 個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制4種氣體.
- 進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS.
- 出氣口: 4個(gè) 1/4NPS.
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| 控溫軟件 | - 計(jì)算機(jī)可以通過(guò)控溫軟件控制爐子：RS485 接口和軟件是免費(fèi)的，但需要購(gòu)買數(shù)據(jù)線和一個(gè)控制模塊
- 為了獲得較大的升溫速度, 必須預(yù)熱到設(shè)定溫度，然后將爐子滑到樣品位置。
- 為了獲得較快的降溫速度,可將加熱的爐子從熱區(qū)滑到冷區(qū).
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| 水循環(huán)冷卻器 | - 水冷法蘭要求：水流量 >= 10L/M .
- 可以用自來(lái)水進(jìn)行水冷,為了節(jié)約水資源，我們建議使用水循環(huán)冷卻器。
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| 總尺寸 | - 爐體: 550 x 380 x 520 mm
- 滑軌: 1750 mm 長(zhǎng)
- 移動(dòng)架: 1200 x 1200 x 600mm.
- 凈重: 220 Lbs.
- 運(yùn)輸重量: 500lbs.
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| 質(zhì)保期和認(rèn)證 | 一年質(zhì)保期 (耗材部分：如爐管，“O”型高溫密封圈，加熱元件等不在保修范圍） CE 認(rèn)證 |
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