GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
技術(shù)參數(shù)
| 管式爐結(jié)構(gòu) | - 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于. 55°C.
- 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失
- 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
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| 加熱元件 |
1800 grade MoSi2 ( 8根)
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| 工作溫度 |
1700°C |
| 升溫速率 |
5°C/min |
| 降溫速率 |
5°C/min |
| 加熱區(qū)長度 |
455mm (18") |
| 恒溫區(qū)長度 |
150(+/-1°C) |
| 溫控系統(tǒng) | - 一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR
- 可設(shè)置30段升降溫程序.
- 帶有過熱和斷偶保護(hù)
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| 控溫精度 |
+/-1°C |
| 爐管材質(zhì)和尺寸 | - 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
- ID: 72mm x OD: 80 mm x 1000 mm length.
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| 密封法蘭 | - 兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計(jì)，和閥門
- 通過機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr
- 泄漏率6 mtorr/min
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| 輸入電源 | AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：5KW |
| 真空泵和配件 | 真空泵 | - 一個雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動架內(nèi)
- 通過此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr
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| 配件 | - 標(biāo)配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭
- 一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
- 一個LED數(shù)字式真空顯示計(jì)（測量范圍： 0.1mtorr ~ 850 torr)
- 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
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| 氣體流量計(jì) | - 3個浮子流量計(jì)（精確度4%FS）安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。
- 路氣體流量范圍為10-100 cc/min.
- 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.
- 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
- 一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 ，來監(jiān)測混合氣體的壓力
- 四個不銹鋼針閥安裝在前面板上
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| 運(yùn)輸信息 | 產(chǎn)品尺寸 | - 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管
- 爐體尺寸：550 x 500 x 700mm L x W x H
- 混氣系統(tǒng)：: 600 x 600 x 700mm 真空機(jī)組： 600 x 600 x 700mm
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| 凈重 | 450 lb (總計(jì)) |
| 運(yùn)輸重量 | 500 lb (總計(jì)) |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件 |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE certified |
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