技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)/model | MFCVD-Ⅰ/ MFCVD-Ⅱ |
微波特性 | 2450MHz（220V）；功率：4KW，分檔和/或無(wú)極連續(xù)可調(diào) |
諧振腔 | 304不銹鋼諧振腔&專用波導(dǎo)設(shè)計(jì)避免電子回轟 |
加熱方式 | 4種：微波等離子、純微波、~傳統(tǒng)電加熱、混合加熱 |
雙溫區(qū)結(jié)構(gòu) | 上部等離子區(qū)或加熱區(qū)、下部樣品臺(tái)加熱區(qū) |
樣品腔材質(zhì) | 石英管：微波等離子工作模式；石英管&剛玉管：純微波、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱模式 |
樣品腔直徑/mm | Φ45、Φ60、Φ100石英樣品腔(1100℃)可選；Φ45、Φ60剛玉樣品腔(1500℃)可選 |
樣品腔/加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 樣品腔：100~300mm可選；加熱區(qū)：100mm或以上可選 |
樣品臺(tái)溫度 | 室溫-1200℃，更高溫度可選；控溫精度：±1℃/±2℃；觸摸屏智能控制 |
升溫速度 | >200℃/min（微波等離子工作模式除外），可在0~升溫速度之間編程設(shè)定自動(dòng)控制 |
質(zhì)量流量控制系統(tǒng) | 2套，七星華創(chuàng)（真空保護(hù)閥門后置，匹配真空模式）；精度：0.8%；耐壓：1MPa；控制響應(yīng)時(shí)間：10ms；氣體類型可選；計(jì)算機(jī)及控制軟件，內(nèi)置&實(shí)時(shí)顯示&保存生長(zhǎng)參數(shù) |
超潔凈真空系統(tǒng) | 3Pa量級(jí)，渦旋泵+數(shù)字真空計(jì)； 10-3Pa量級(jí)，渦旋泵+分子泵+復(fù)合真空計(jì) |
端口&氣路 | 不銹鋼KF50法蘭接口，氣柜、氣路及閥門等 |
Ⅰ型結(jié)構(gòu) | 臥式：氣流方向與樣品臺(tái)樣品表面平行 |
Ⅱ型結(jié)構(gòu) | 立式：氣流方向與樣品臺(tái)樣品表面垂直 |
用途 | 該系統(tǒng)既可用作傳統(tǒng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，又可用作微波能化學(xué)氣相沉積設(shè)備，同時(shí)又是微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)?？捎糜诟鞣N功能薄膜的生長(zhǎng)，例如：石墨烯、金剛石、各種半導(dǎo)體材料薄膜、磁性薄膜，等等。 |
Ⅰ型結(jié)構(gòu)CVD系統(tǒng)
分子泵機(jī)組
Ⅱ型結(jié)構(gòu)CVD系統(tǒng)
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