氣溶膠納米噴印
納米印刷是柔性電子領(lǐng)域重要的區(qū)域性沉積技術(shù), VSP-P1 采用氣溶膠沖壓沉積技術(shù),將原材料通過火花燒蝕的方式轉(zhuǎn)變成納米氣溶膠顆粒,并在真空系統(tǒng)配合下實現(xiàn)圖案的繪制。該方法避免了傳統(tǒng)噴墨打印需要導(dǎo)電油墨以及后續(xù)熱處理去除油墨的弊端,保證圖案的納米結(jié)構(gòu)保留,避免產(chǎn)生氣孔等缺陷。
運行原理
納米氣溶膠顆粒會通過火花燒蝕的方式在前端產(chǎn)生,顆粒經(jīng)由惰性氣體帶動運輸至噴嘴處,經(jīng)過真空系統(tǒng)作用,腔室的氣壓會保持在 10mbar 以下,而經(jīng)由噴嘴噴出的氣溶膠會在基底表面沖壓沉積。而利用 XYZ 軸控制噴嘴的移動,即可實現(xiàn)圖案的繪制。
利用該方法,可輕松實現(xiàn):
1. 金屬,合金,氧化物顆粒的印刷沉積
2. 無添加劑,無廢液
3. 一步沉積,設(shè)備模塊化,前端的氣溶膠發(fā)生器可獨立拆卸工作,進行其它方向的納米研究
4. 顆粒初始粒徑可保持在 0-20nm 之間,形成多孔結(jié)構(gòu)
應(yīng)用領(lǐng)域
· 高通量合金催化劑的篩選
利用氣溶膠噴印在多個通道打印沉積比例不同的合金催化劑,從而快速考查電催化性能。該方法可用于在工業(yè)相關(guān)電流密度下的流體力學(xué)條件下制備和篩選電極材料,可用于確定催化劑和催化劑制備的穩(wěn)健性。Ni / Fe 的復(fù)合電極被用于進行驗證,64 個不同比例的催化陽極電極在快速篩選后可得到反應(yīng)電位的變化。
SERS
表面增強拉曼光譜需要精細的 Au, Ag 等納米結(jié)構(gòu),從而實現(xiàn)對低信號量化學(xué)物質(zhì)的靈敏檢測。利用氣溶膠噴印技術(shù)在基底表面快速繪制納米圖案,進行拉曼光譜檢測。這種方法避免添加劑對檢測的干擾,在較低的溫度處理后便可進行后續(xù)檢測。
納米印刷結(jié)構(gòu)
在對羅丹明 6G,PMBA,三聚氰胺的檢測中,標(biāo)準(zhǔn)基片表現(xiàn)出了優(yōu)異的信號增強性能。
氣體傳感器
金屬氧化物 (MOX) 氣體傳感器通過半導(dǎo)體金屬氧化物薄膜的電阻變化來檢測氣體,但氧化物涂層需要溫和的沉積,故而常用的 PVD 與 CVD 手段均不適用?,F(xiàn)有方法為利用溶膠凝膠法結(jié)合絲網(wǎng)印刷實現(xiàn)區(qū)域的沉積。利用氣溶膠噴印直寫可以實現(xiàn)精準(zhǔn)的印刷沉積,避免熱處理。