伯東公司成立于1953 年，范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務工作，集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業(yè)據(jù)點。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界水平的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經(jīng)營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務，覆蓋工業(yè)、半導體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為真空品牌**代理商，全權(quán)負責在中國地區(qū)的銷售和維修服務，* 使用原廠進口零部件以及國外受訓維修工程師；擁有*的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務。
反應艙 | 材料：鋁 有效尺寸：700 x 700 x 1000mm 容積：490L 艙門：裝有可視窗口 托盤：8個 尺寸：591 x 697 x 40mm |
真空度測量 | 皮拉尼真空計 |
真空泵 | 旋片初級真空泵和480m3 /h的機械增壓泵 |
頻射發(fā)生器 | 0~2500W可調(diào)。KHz發(fā)生器 |
控制系統(tǒng) | PLC可實現(xiàn)下列功能： 自動控制反應過程； 根據(jù)處理材料設定不同的處理工藝參數(shù)； 測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標； 監(jiān)測所有的運行指標，保證各項參數(shù)在設定范圍之內(nèi)； 設定操作、維護密碼。 |
電源 | 380V AC, 三相，50Hz, 40A |
反應氣體 | 一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC） |
氣體輸入 | 直徑1/4英寸（6.35mm） 管道；輸入壓力：1Bar |
尾氣排放 | 直徑38mm 輸出端口 |
性能 | 急停開關(guān)；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE認證。 |
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