低溫真空泵
低溫真空泵是利用10K(-263℃)低溫制冷機(jī)作為冷源,通過(guò)低溫冷凝、低溫吸附的原理獲得無(wú)油高真空的設(shè)備,
低溫真空泵廣泛應(yīng)用于:
1)半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的鍍膜工藝過(guò)程;
2)光學(xué)鏡片鍍膜;
3)磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線;
4)空間環(huán)境模擬;
5)真空排氣臺(tái)等。
低溫真空泵主要特點(diǎn):
1)低溫真空泵是吸附式真空泵,工作時(shí)無(wú)需前級(jí)泵;
2)低溫真空泵需要再生;
3)低溫真空泵對(duì)不同氣體具有不同的抽速和抽氣容量。
低溫真空泵的主要優(yōu)點(diǎn):
1)高極限真空度。基本型可達(dá)10-6Pa真空度,特殊要求時(shí)可達(dá)10-7Pa以上;
2)大抽速。對(duì)空氣尤其是對(duì)水蒸汽具有超高的抽速,其它真空泵不可比擬;
3)真正潔凈。
4)運(yùn)行成本低
5)安全可靠
6)使用方便
7)使用壽命長(zhǎng)