高靈敏度
SolidSpec-3700和3700DUV是臺(tái)使用3個(gè)檢測(cè)器的分光光度計(jì):光電倍增管(PMT)探測(cè)器檢測(cè)紫外區(qū)和可見光區(qū),近紅外區(qū)使用InGaAs 和 PbS檢測(cè)器。InGaAs 和 PbS檢測(cè)器的使用使得近紅外區(qū)域的靈敏度顯著增強(qiáng)。
深紫外區(qū)檢測(cè)
SolidSpec-3700DUV具有檢測(cè)深紫外區(qū)的能力,可測(cè)定至165nm或175nm的積分球。此檢測(cè)是用氮?dú)獯祾吖馐液蜆悠肥疫M(jìn)行的。注: 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光單元DDU-DUV測(cè)定)的最短波長(zhǎng)。
大樣品室
大樣品室(900W x 700D x 350H mm) 可在不損傷大樣品的前提下進(jìn)行檢測(cè)。其垂直光路可直接測(cè)量大樣品同時(shí)保持它們的水平狀態(tài)。使用自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)(選配)測(cè)定樣品的尺寸是12英寸或310×310mm。
FPD:
材料評(píng)估中NIR和大樣品的高靈敏度測(cè)定。
半導(dǎo)體:
短波長(zhǎng)激光和12英寸晶片整體表面的深紫外區(qū)測(cè)定。
光通信:
減反射膜NIR高靈敏度測(cè)定。
光學(xué):
從DUV到NIR再到大樣品的高靈敏度分析。
一體軟件
SolidSpec-3700/3700DUV的UVProbe軟件包括光譜模塊,光度模塊,動(dòng)力學(xué)及報(bào)告模塊等功能。多重的安全性及可追蹤性以確保刪除數(shù)據(jù)的可靠性。
* Direct Detection Unit DDU/DDU-DUV (for liquid/solid transmission measurements)直接受光單元DDU/DDU-DUV對(duì)于液、固樣品透過率測(cè)定
* 自動(dòng)X-Y樣品臺(tái)(自動(dòng)測(cè)量)
* 大型鏡面反射附件
* 氮?dú)饬髁垦b置
* 鏡面反射附件(5°12°30°45°)
* 積分球刪除樣品盤