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擴(kuò)散硅、陶瓷、電容、單晶硅壓力傳感器各有哪些區(qū)別

來(lái)源:上海朝輝壓力儀器有限公司   2024年06月19日 16:28  
  壓力傳感器是最為常用的一種傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè)。
 
  根據(jù)工作原理的不同,壓力傳感器可分為以下幾種:
 
  電容式壓力傳感器
 
  電容式變送器有一個(gè)可變電容的傳感組件。該傳感器是一個(gè)完全封閉的組件過(guò)程壓力、差壓通過(guò)隔離膜片和灌充液硅油傳到傳感膜片引起位移。傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉(zhuǎn)換成(4-20)mA的兩線制輸出的電信號(hào)。
 
  擴(kuò)散硅壓力傳感器
 
  擴(kuò)散硅壓力傳感器是外加壓力通過(guò)不銹鋼膜片、內(nèi)部密封的硅油傳遞到敏感芯片上,敏感芯片不直接接觸被測(cè)介質(zhì)。以其靈敏度輸出高,動(dòng)態(tài)響應(yīng)好,測(cè)量精度高,穩(wěn)定性好,易于小型化,但易受溫度影響,對(duì)于大于1kpa的均可測(cè)量是中檔傳 感器的理想選擇。陶瓷是一種高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動(dòng)的材料。
 
  單晶硅傳感器
 
  高性能單晶硅壓力傳感器,采用電磁激勵(lì)和電磁拾振方式工作,輸出為頻率信號(hào),抗干擾能力強(qiáng),穩(wěn)定性好,不需A/D轉(zhuǎn)換,既能測(cè)量絕壓,也能測(cè)量差壓。
 
  陶瓷壓力傳感器
 
  陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40~135℃,而且具有測(cè)量的高精度、高穩(wěn)定性。電氣絕緣程度>2kV,輸出信號(hào)強(qiáng),長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。具有優(yōu)良的線性精度、遲滯性和可靠性、性價(jià)比。原則上較高的量程也易于實(shí) 現(xiàn)。這兩種傳感器都廣泛地應(yīng)用于航天、航空、航海、石油化工、動(dòng)力機(jī)械、生物醫(yī)學(xué)工程、氣象、地質(zhì)、地震測(cè)量等各個(gè)領(lǐng)域。
 
  另外,一般的壓力變送器(區(qū)別于差壓變送器)所用的傳感器常用的有:擴(kuò)散硅傳感器,陶瓷壓阻傳感器,陶瓷電容傳感器,單晶硅傳感器等。這種傳感器只能測(cè)表壓或者絕壓,它們之間也是有各自的有缺點(diǎn),在不同的場(chǎng)合使用的傳感器也是不同的,例如一般的小量程壓力變送器則需要用到陶瓷電容傳感器,穩(wěn)定性和精度會(huì)比其他高一些;而一般的超大量程,由于受生產(chǎn)工藝所限,通常是采用陶瓷壓阻的比較多;對(duì)于擴(kuò)散硅傳感器,一般充油擴(kuò)散硅傳感器更適合做溫度補(bǔ)償?shù)燃夹g(shù)提升,并且在穩(wěn)定性和過(guò)載能力方面也是比較出眾的。
 
  在差壓傳感器中充硅油或者惰性氣體,一般都是電容式傳感器,當(dāng)然其他技術(shù)的傳感器也是要填充惰性液或者惰性氣體的,它所其到的作用是把壓力均勻的作用在感壓膜片上的。

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